[发明专利]气密性检测方法及气密性检测装置

说明书

一种气密性检测方法及气密性检测装置，气密性检测方法包含连通储存腔体及检测腔体，对储存腔体提供负压，量测储存腔体或检测腔体的压力以取得第一压力值，根据负压及第一压力值判断检测腔体的气密性，停止对储存腔体提供负压，量测储存腔体或检测腔体的压力以取得第二压力值，于停止对储存腔体提供负压一预设时间之后量测储存腔体或检测腔体的压力以取得第三压力值，以及根据第二压力值及第三压力值判断检测腔体的气密性。装置包含检测腔体、储存腔体、负压产生器及压力计。储存腔体连通于检测腔体。负压产生器连通于储存腔体。压力计连接至储存腔体或检测腔体。

技术领域

本发明涉及一种检测方法及检测装置，特别涉及一种用以检测受测模块的气密性的气密性检测方法及气密性检测装置。

背景技术

一般而言，使用者于使用应气密的模块时，通常会先对此模块进行气密性检测，以确定此模块的气密性是否合乎使用者的需求。举例而言，于电子设备的制造过程中，通常会进行各种电性测试。此时，会将应气密的弹簧探针模块装设于测试系统。若弹簧探针模块中，其探针与基材的交接处的气密性不足，则可能会影响电子设备的测试结果。因此，于弹簧探针模块装设于测试系统之前，通常会先行检测弹簧探针模块的气密性。

以往的气密性检测装置中，相关业者通常会持续地对上述应气密的模块提供负压，以检测此模块的气密性。然而，如此持续提供负压的配置，其气密性的检测结果有可能不准确。因此，将经过如此的气密性检测的应气密的模块装设于欲使用系统中，此模块的气密性仍可能有所不足。如此一来，使用者便必须拆卸此气密性不足的模块，再替换装设其他模块，导致使用者因多余的拆卸与替换动作而耗费过多的时间，因此添增使用者的困扰。因此，提升气密性检测的精确度，为目前相关业者极欲追求的目标。

发明内容

有鉴于以上的问题，本发明的目的在于提出一种气密性检测方法及气密性检测装置，藉以准确检测受测模块的气密性，进而能够避免使用者因重复拆装模块所造成的困扰。

本发明的一实施例提出一种气密性检测方法，用以检测一受测模块。气密性检测方法包含以下步骤。连通一储存腔体及一检测腔体。对储存腔体提供一负压。量测储存腔体或检测腔体的压力，以取得一第一压力值。根据负压及第一压力值判断检测腔体的气密性。停止对储存腔体提供负压。量测储存腔体或检测腔体的压力，以取得一第二压力值。于停止对储存腔体提供负压一预设时间之后，量测储存腔体或检测腔体的压力，以取得一第三压力值。根据第二压力值及第三压力值判断检测腔体的气密性。

另外，本发明的一实施例提出一种气密性检测装置，用以检测一受测模块。气密性检测装置包含一检测腔体、一储存腔体、一负压产生器及至少一压力计。检测腔体用以容置受测模块。储存腔体连通于检测腔体。负压产生器连通于储存腔体。负压产生器用以提供负压。压力计连接至储存腔体或检测腔体，且用以量测储存腔体或检测腔体的压力。

根据本发明的一实施例的气密性检测方法气密性检测装置，可藉由对储存腔体提供负压时、停止对储存腔体提供负压时及一预定时间之后，分别量测第一压力值、第二压力值及第三压力值。根据负压、第一压力值、第二压力值及第三压力值而能够准确地判断受测模块的气密性。换言之，能够通过静态与动态的二种气密检测结果来提升气密性的检测精确度，进而能够避免因重复拆装模块所造成的困扰。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1绘示依照本发明的一实施例的气密性检测装置的架构示意图；

图2绘示图1的气密性检测装置的检测腔体及受测模块的侧视示意图；

图3绘示依照本发明的一实施例的气密性检测方法的流程示意图。

其中，附图标记

10 气密性检测装置

11 检测腔体