[发明专利]荫罩、荫罩的制造方法和显示装置的制造方法有效
申请号: | 201611256253.0 | 申请日: | 2016-12-30 |
公开(公告)号: | CN107119253B | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 大河原健 | 申请(专利权)人: | 株式会社日本显示器 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 邸万杰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 荫罩 制造 方法 显示装置 | ||
1.一种荫罩,其特征在于,包括:
设置在与成膜对象物相对的一侧的第1树脂膜;
形成有缝隙的、设置在所述第1树脂膜的上方的金属部;和
以覆盖所述金属部的上方的至少一部分的方式设置的第2树脂膜,
所述第2树脂膜设置在暴露于所述成膜材料的一侧,
所述第2树脂膜的表面被粗化,
所述第2树脂膜比所述第1树脂膜薄,
设置有:在所述金属部的上方形成有所述第2树脂膜的第1区域;在所述第1树脂膜的上方形成有所述第2树脂膜的第2区域;和仅形成有所述第2树脂膜的第3区域,
所述第2区域设置在所述第1区域的外侧,所述第3区域设置在所述第2区域的外侧,
所述第3区域比所述第1区域和所述第2区域薄。
2.如权利要求1所述的荫罩,其特征在于:
所述第2树脂膜具有与要制作在和所述缝隙重叠的位置的图案对应的开口部,以覆盖所述第1树脂膜和所述金属部的方式形成。
3.如权利要求1所述的荫罩,其特征在于:
所述第1树脂膜具有与要制作在和所述缝隙重叠的位置的图案对应的开口部,
所述第2树脂膜以覆盖所述金属部的方式形成。
4.如权利要求1所述的荫罩,其特征在于:
所述第2树脂膜的表面通过照射激光被粗化。
5.如权利要求1所述的荫罩,其特征在于:
所述第2树脂膜的表面通过灰化处理被粗化。
6.一种荫罩的制造方法,其特征在于,包括:
在基材之上形成第1树脂膜的步骤;
在所述第1树脂膜之上贴合设置有缝隙的金属部的步骤;
除去形成在设置有所述缝隙的区域的一部分的所述第1树脂膜的步骤;
以覆盖所述金属部、所述第1树脂膜和所述基材的方式形成第2树脂膜的步骤;
使所述第2树脂膜的表面粗化的步骤;
在所述第2树脂膜形成与要制作的图案对应的开口部的步骤;和
除去所述基材的步骤。
7.一种显示装置的制造方法,其特征在于:
在基材之上形成第1树脂膜的步骤;
在所述第1树脂膜之上贴合设置有缝隙的金属部的步骤;
除去形成在设置有所述缝隙的区域的一部分的所述第1树脂膜的步骤;
以覆盖所述金属部、所述第1树脂膜和所述基材的方式形成第2树脂膜的步骤;
将所述第2树脂膜的表面粗化的步骤;
在所述第2树脂膜形成与要制作的图案对应的开口部的步骤;和
除去所述基材来得到荫罩的步骤;和
使用所述荫罩在显示面板内形成所述图案的膜的步骤。
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