[发明专利]荫罩、荫罩的制造方法和显示装置的制造方法有效

专利信息
申请号: 201611256253.0 申请日: 2016-12-30
公开(公告)号: CN107119253B 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 大河原健 申请(专利权)人: 株式会社日本显示器
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 邸万杰
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 荫罩 制造 方法 显示装置
【权利要求书】:

1.一种荫罩,其特征在于,包括:

设置在与成膜对象物相对的一侧的第1树脂膜;

形成有缝隙的、设置在所述第1树脂膜的上方的金属部;和

以覆盖所述金属部的上方的至少一部分的方式设置的第2树脂膜,

所述第2树脂膜设置在暴露于所述成膜材料的一侧,

所述第2树脂膜的表面被粗化,

所述第2树脂膜比所述第1树脂膜薄,

设置有:在所述金属部的上方形成有所述第2树脂膜的第1区域;在所述第1树脂膜的上方形成有所述第2树脂膜的第2区域;和仅形成有所述第2树脂膜的第3区域,

所述第2区域设置在所述第1区域的外侧,所述第3区域设置在所述第2区域的外侧,

所述第3区域比所述第1区域和所述第2区域薄。

2.如权利要求1所述的荫罩,其特征在于:

所述第2树脂膜具有与要制作在和所述缝隙重叠的位置的图案对应的开口部,以覆盖所述第1树脂膜和所述金属部的方式形成。

3.如权利要求1所述的荫罩,其特征在于:

所述第1树脂膜具有与要制作在和所述缝隙重叠的位置的图案对应的开口部,

所述第2树脂膜以覆盖所述金属部的方式形成。

4.如权利要求1所述的荫罩,其特征在于:

所述第2树脂膜的表面通过照射激光被粗化。

5.如权利要求1所述的荫罩,其特征在于:

所述第2树脂膜的表面通过灰化处理被粗化。

6.一种荫罩的制造方法,其特征在于,包括:

在基材之上形成第1树脂膜的步骤;

在所述第1树脂膜之上贴合设置有缝隙的金属部的步骤;

除去形成在设置有所述缝隙的区域的一部分的所述第1树脂膜的步骤;

以覆盖所述金属部、所述第1树脂膜和所述基材的方式形成第2树脂膜的步骤;

使所述第2树脂膜的表面粗化的步骤;

在所述第2树脂膜形成与要制作的图案对应的开口部的步骤;和

除去所述基材的步骤。

7.一种显示装置的制造方法,其特征在于:

在基材之上形成第1树脂膜的步骤;

在所述第1树脂膜之上贴合设置有缝隙的金属部的步骤;

除去形成在设置有所述缝隙的区域的一部分的所述第1树脂膜的步骤;

以覆盖所述金属部、所述第1树脂膜和所述基材的方式形成第2树脂膜的步骤;

将所述第2树脂膜的表面粗化的步骤;

在所述第2树脂膜形成与要制作的图案对应的开口部的步骤;和

除去所述基材来得到荫罩的步骤;和

使用所述荫罩在显示面板内形成所述图案的膜的步骤。

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