[发明专利]一种IBC电池的制备方法

权利要求书

1.一种IBC电池的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

A:N型硅片(1)双面制绒；

B：将N型硅片(1)的背面抛光，并进行磷硅玻璃(2)的沉积；

C：在已经沉积磷硅玻璃(2)的一面的需要掺磷区域进行磷掺杂激光推进形成磷掺杂区域(3)；并同时在磷掺杂区域(3)形成一层损伤层(4)，所述损伤层(4)厚度为1-5微米；

D：经化学清洗，去除硅片(1)表面除损伤层(4)外的磷硅玻璃层；

E：对硅片(1)背光面实行高温硼扩散工艺，形成硼掺杂区域(5)，损伤层(4)能够阻挡硼原子的扩散，从而在硅片(1)背面形成梳状交叉分布的N型扩散区域和P型扩散区域，同时硼扩散中的后氧化工艺，能够在硅片(1)表面形成一层硼硅玻璃层；

F：经化学清洗，去除硅片(1)表面损伤层(4)及硼硅玻璃层；

G：在硅片(1)正反表面沉积一层钝化减反层(6)；

H：在硅片(1)背光面P型区和N型区丝网印刷金属栅线(7)，经烘干、烧结后形成IBC电池成品。

2.根据权利要求1所述的一种IBC电池的制备方法，其特征在于所述步骤C中磷掺杂激光推进采用激光器进行磷掺杂推进。

3.根据权利要求1所述的一种IBC电池的制备方法，其特征在于所述步骤C中磷掺杂推进采用波长范围300nm～1600nm，脉宽10ns～200ns，光斑直径10～200um、激光器台面功率10W～100W的激光器进行磷掺杂推进。

4.根据权利要求1所述的一种IBC电池的制备方法，其特征在于所述步骤C中损伤层(4)为激光损伤层，是采用激光推进形成的。

5.根据权利要求1所述的一种IBC电池的制备方法，其特征在于所述步骤D化学清洗所用化学清洗液为硝酸、氢氟酸。

6.根据权利要求1所述的一种IBC电池的制备方法，其特征在于所述步骤F化学清洗所用化学清洗液为氢氧化钾、硝酸、氢氟酸。

7.根据权利要求1所述的一种IBC电池的制备方法，其特征在于所述步骤G中钝化减反层(6)为：氮化硅薄膜一般通过PECVD(等离子增强气相化学沉积法)在硅片上下表面形成氮化硅层，将硅片表面悬挂键通过氢原子填满，起到钝化的作用，同时也能起到保护作用和增透作用。