[发明专利]传感器及流量测量方法

权利要求书

1.一种传感器，其特征在于，包括：流量测量单元(1)，以及至少部分围绕所述流量测量单元(1)设置的加热装置(8)。

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，沿着被测流体流向，在所述流量测量单元(1)的上游和下游设置所述加热装置(8)。

3.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述加热装置(8)完全围绕所述流量测量单元(1)。

4.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述加热装置(8)的长度(b)和所述流量测量单元(1)的长度(h)的比例为：1.5≤b/h≤5。

5.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述流量测量单元(1)和所述加热装置(8)之间的距离(c)的范围为0-300um。

6.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述加热装置(8)的宽度(a)的范围为1-3mm。

7.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述流量测量单元(1)和所述加热装置(8)设置在硅片载体(3)上。

8.根据权利要求7所述的传感器，其特征在于，所述硅片载体(3)还包括对应于所述流量测量单元(1)设置的第一镂空区域(5)和/或对应于所述加热装置(8)设置的第二镂空区域(6)。

9.根据权利要求8所述的传感器，其特征在于，所述加热装置(8)的宽度(a)小于所述第二镂空区域(6)的宽度(d)。

10.一种流量测量方法，其特征在于，在不进行流量测量时，对流量测量单元(1)周围进行加热。

11.根据权利要求10所述的流量测量方法，其特征在于，加热结束至少300ms后再进行流量测量。

12.根据权利要求10所述的流量测量方法，其特征在于，对所述流量测量单元(1)周围不同位置同时加热；

或者，对所述流量测量单元(1)周围不同位置交替加热。

13.根据权利要求10所述的流量测量方法，其特征在于，当所测得的流量值的误差超过所述流量测量单元(1)最大允许误差时，对所述流量测量单元(1)周围进行加热。

14.根据权利要求10所述的流量测量方法，其特征在于，对所述流量测量单元(1)周围进行加热的加热装置(8)的温度与环境温度之和的范围为40℃至287℃。

15.根据权利要求10所述的流量测量方法，其特征在于，从开始加热到温度稳定的时间不大于50ms。