[发明专利]一种压电复合材料的制作方法

权利要求书

1.一种压电复合材料的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

将压电材料与平板黏合；

对黏合在所述平板上的压电材料进行切割，所述压电材料的割缝的深度小于所述压电材料的厚度；

在所述压电材料的割缝中填充去耦合材料；

以所述平板为基准，对填充了去耦合材料所固化的压电材料的上表面研磨，然后取下压电材料，对压电材料的下表面研磨；

在研磨后的压电材料表面设置电极，得到压电复合材料。

2.根据权利要求1的所述方法，其特征在于，在研磨后的压电材料表面设置电极，得到压电复合材料的步骤之后，所述方法还包括：

将所述压电复合材料与所述平板黏合；

在所述压电复合材料表面灌注匹配层材料；

在匹配层材料固化后，以平板为基准研磨覆盖在所述压电复合材料表面的匹配层材料。

3.根据权利要求2所述方法，其特征在于，在匹配层材料固化后，以平板为基准研磨所述复合材料表面的匹配层的步骤后，所述方法还包括：

从平板上取下所述压电复合材料，对所述压电复合材料的下表面进行阵列元划分，得到预定尺寸的压电复合材料。

4.根据权利要求2所述方法，其特征在于，所述在所述复合材料表面灌注匹配层材料步骤具体为：

在所述复合材料的四周设置与平板紧密贴合的挡板，所述挡板与所述压电复合材料之间留有间隙；

在所述挡板内灌注匹配层材料，在所述压电复合材料的上表面和四周覆盖所述匹配层材料。

5.根据权利要求1所述方法，其特征在于，所述将压电材料与平板黏合的步骤具体为：

在所述平板的表面设置石蜡，加热所述石蜡，使所述石蜡融化在所述平板表面；

在融化了所述石蜡的平板表面黏合所述压电材料。

6.根据权利要求1-5任一项所述方法，其特征在于，所述平板为玻璃平板。

7.根据权利要求1-5任一项所述方法，其特征在于，所述去耦合材料为环氧树脂。

8.根据权利要求5所述方法，其特征在于，所述取下压电材料步骤具体为：

通过三氯乙烯对平板上的石蜡进行清洗后，取下所述压电材料。

9.根据权利要求5所述方法，其特征在于，所述压电材料为压电陶瓷、压电单晶或压电聚合物。

10.根据权利要求1-5任一项所述方法，其特征在于，所述平板的平面度小于或等于5微米。