[发明专利]管道固体物去除装置、管道固体物去除方法、管道体系

说明书

本发明提供一种管道固体物去除装置、一种基于所述管道固体物去除装置的管道固体物去除方法以及一种包括该管道固体物去除装置的管道体系。其中，管道固体物去除装置包括三通管道，三通管道包括第一路管道，第二路管道以及第三路管道；升降器，升降器设置在与第三路管道延伸方向相反的一端，且升降器通过密封连接件与三通管道连接；连接杆，连接杆位于三通管道的管道内部，且连接杆的一端与升降器连接；去除器，与连接杆的另一端连接且位于三通管道的管道内部，在连接杆与去除器连接的平面上，去除器边缘上的至少一点到连接杆中心点的距离大于连接杆边缘任意一点到连接杆中心点的距离，且小于第三路管道内径的一半。

技术领域

本发明涉及管道技术领域，具体涉及一种管道固体物去除装置、一种管道固体物去除方法以及一种管道体系。

背景技术

在生产中，为了传输气体或者液体会使用管道，在多路汇集或者分为多路的地方通常会采用多通管道，比较常用的多通管道为三通管道。例如，在生产显示面板的工艺中，为了刻蚀，腔室左右各有一台分子泵，其真空管道结构为T字形的三通管道。在生产过程中，三通管道口处由于左右气流在此交汇，该位置更易生成结晶物，该结晶物附着于管壁上，逐渐堵塞管道，导致气体排气不顺，设备无法正常使用，因此，必须对结晶物进行疏通。同样，如果三通管道传输的是液体，则在液体汇集处容易形成沉积物，该沉积物附着于管壁上，逐渐堵塞管道，导致液体流通不畅，设备无法正常使用，因此，必须对沉积物进行疏通。但是现有技术中，在疏通时管道时，必须拆卸整套管道，由于管道位于高架地板下方，拆卸疏通工作非常困难。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供一种一种管道固体物去除装置、一种管道固体物去除方法以及一种管道体系，以实现对结晶物或者沉积物等固体物质的清除。

为实现上述目的，本发明实施例提供如下技术方案：

首先，本发明提供了一种管道固体物去除装置，所述管道固体物去除装置包括：三通管道，所述三通管道包括第一路管道，第二路管道以及第三路管道；升降器，所述升降器设置在与所述第三路管道延伸方向相反的一端，且所述升降器通过密封连接件与所述三通管道连接；连接杆，所述连接杆位于所述三通管道的管道内部，且所述连接杆的一端与所述升降器连接；去除器，与所述连接杆的另一端连接且位于所述三通管道的管道内部，在所述连接杆与所述去除器连接的平面上，所述去除器边缘上的至少一点到所述连接杆中心点的距离大于所述连接杆边缘任意一点到所述连接杆中心点的距离，且小于所述第三路管道内径的一半。

其次，本发明提供了一种管道固体物去除方法：在去除所述固体物之前，给上述管道固体物去除装置通第一气压，所述去除器位于第一高度；需要去除固体物时，给上述管道固体物去除装置通第二气压。

最后，本发明还提供了一种管道体系，包括上述管道固体物去除装置，以及固体物接收装置，所述固体物接收装置与所述第三路管道为可拆卸连接。

本发明实施例提供了管道固体物去除装置、基于管道固体物去除装置的管道固体物去除方法、以及包括管道固体物去除装置的管道体系，由于管道中设置有去除器，去除器在升降器作用下运动，从而去除管道中固体物。本发明提供的道固体物去除装置、管道固体物去除方法、管道体系，不需要拆卸管道就能够清除管道交汇处的固体物，从而能够节约生产时间和生产成本，提高生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种管道固体物去除装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的管道固体物去除装置中去除器、连接杆以及管道的俯视结构示意图；