[发明专利]一种控制砷化镓纳米微结构尺寸的方法

权利要求书

1.一种控制砷化镓纳米微结构尺寸的方法，其特征在于，利用控制砷化镓纳米微结构尺寸的装置对砷化镓纳米微结构的尺寸进行控制，包括：

把砷化镓纳米微结构置于腔体中；

利用热氧化法对所述砷化镓纳米微结构的尺寸进行控制，砷化镓纳米微结构的外层部分和氧气发生反应生成三氧化二砷蒸汽和一氧化二镓蒸汽所述利用热氧化法对砷化镓纳米微结构的尺寸进行控制包括：

将腔体抽真空；

向所述腔体通入含氧混合气体；

将所述腔体内的温度升至反应温度，所述砷化镓纳米微结构与氧气发生氧化反应，所述砷化镓纳米微结构的尺寸减小；

所述向腔体通入含氧混合气体包括：向腔体内充入含氧混合气体和高纯气体，所述含氧混合气体是氮气、氩气、氦气、氖气的一种或多种与氧气的混合气体；所述高纯气体是氮气、氩气、氦气、氖气的一种或多种；

调节氧气分压至0.01-10帕斯卡区间，腔体内的反应温度至500-700摄氏度区间；

当氧气分压介于0.01-0.1帕斯卡之间，腔体内的反应温度调节至500-650摄氏度区间；

当氧气分压介于0.1-10帕斯卡之间，腔体内的反应温度应调节至550-700摄氏度区间。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将腔体抽真空包括：

利用分子泵将腔体抽真空，关闭分子泵。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，

打开混合气瓶和高纯气瓶，调节第一通气管线和第二通气管线的流量计，以向腔体内充入含氧混合气体和高纯气体。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述将腔体内的温度升至反应温度，砷化镓纳米微结构与氧气发生氧化反应包括：

利用加热装置将腔体内的温度升温至反应温度并保温，氧化反应开始进行，砷化镓纳米微结构的尺寸减小。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述砷化镓纳米微结构是单晶、多晶或者非晶砷化镓纳米线、纳米带、量子点、鳍状栅。