[发明专利]一种数字集成电路标准样片

说明书

本发明公开一种数字集成电路标准样片，包括依次连接的信号转换电路、模数转换电路、MCU，信号转化电路的输入端与集成电路测试系统的电压或电流信号端连接，MCU的输入端还与集成电路测试系统、溯源模块的输出端连接，MCU的输出端与信号转换电路的控制输入端连接；溯源模块的输入端与所述电压或电流信号端连接；其中MCU根据集成电路测试系统输入的模式控制信号控制所述标准样片的运行模式和测量模式类型，还用于对电压或电流进行测量和校准。其能直接用于集成电路测试系统的加电压测电压、加电压测电流、加电流测电流、加电流测电压的在线测量和校准，并实时显示测量结果。同时具有溯源功能，能保证校准结果的准确性。

技术领域

本发明涉及微电子计量技术领域，具体涉及一种用于集成电路测试系统在线校准的数字集成电路标准样片。

背景技术

微电子量值溯源、传递的方法和途径一直是阻碍微电子计量检定、校准和比对工作开展的关键所在。而标准样片是实现量值溯源和传递的良好途径，具有方便携带、校准过程简单、可以现场校准等诸多优点。目前微电子计量领域使用的标准样片主要有两种。一种是通过一系列筛选及其周期性检验来考察标准样片的重复性和稳定性，并从现有集成电路中挑选量值满足一定的不确定度要求的集成电路对其进行定值。另一种是通过采用精密电阻模拟集成电路参量的量值，采用集成电路测试系统和高准确度独立仪表相结合的方式对其进行定值。这两种标准样片在使用前均需先对其进行定值，而定值要花费较长的周期，且没有定值的参数范围的不能用于校准，缺乏灵活性，因此在用于测试系统的全量程校准时具有一定的局限性。同时，由于在标准样片进行定值时的回路和用于测试系统校准时的回路并不完全一致，会导致校准的时候产生一定误差。此外目前也缺乏用于数字集成电路测试系统在线校准的标准样片，因而研制此类标准样片是非常必要的。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种用于集成电路测试系统在线校准且能保证校准结果准确性的数字集成电路标准样片。

一种数字集成电路标准样片，包括信号转换电路、模数转换电路、MCU、电源模块；信号转化电路的输入端与外部的集成电路测试系统的电压或电流信号端连接，信号转换电路的输出端与模数转换电路的输入端连接，模数转换电路的输出端与MCU的输入端，MCU的输入端还与集成电路测试系统的输出端、外部的溯源模块的输出端连接，MCU的输出端与信号转换电路的控制输入端连接；溯源模块的输入端与所述电压或电流信号端连接；电源模块分别与信号转换电路、模数转换电路、MCU连接；

其中，MCU根据集成电路测试系统输入的模式控制信号控制所述标准样片的运行模式和测量模式类型；运行模式包括测量模式和校准模式；测量模式类型包括加电压测电压模式、加电压测电流模式、加电流测电流模式、加电流测电压模式；

MCU还用于在校准模式时比较所述标准样片检测的电压或电流与溯源模块检测到的电压或电流，并将电压或电流的误差存储；同时在测量模式时根据所述误差对所述标准样片检测的电压或电流进行修正。

本发明的数字集成电路标准样片，能直接用于集成电路测试系统的加电压测电压、加电压测电流、加电流测电流、加电流测电压的在线测量和校准，并实时显示测量结果。同时具有溯源功能，能保证校准结果的准确性。此外，该标准样片集成度高、性能优异，体积小、便于携带，可溯源，能很好的满足当前数字集成电路参数现场校准的需求。

附图说明

图1为本发明数字集成电路标准样片的结构框图；

图2为本发明数字集成电路标准样片的具体结构框图；

图3为信号转换电路的具体电路原理图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明，应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。