[发明专利]前照式图像传感器的形成方法

权利要求书

1.一种前照式图像传感器的形成方法，其特征在于：

形成位于器件层表面的介质层以及位于所述介质层内的多层金属层；所述多层金属层包括顶层金属层、中间层金属层和底层金属层；

对应于感光区域形成顶层辅助金属层和中间层辅助金属层；其中，顶层辅助金属层位于顶层金属层；中间辅助金属层位于中间层金属层；所述顶层辅助金属层为一整体区域，对应覆盖于所述感光区域上部；所述中间辅助金属层为多个间隔的区域，分别对应于像素单元的光电二极管区域；所述感光区域包括多个像素单元的光电二极管区域；

刻蚀位于感光区域的所述介质层至暴露出所述顶层辅助金属层，所述顶层辅助金属层作为第一停止层；

去除所述顶层辅助金属层，所述顶层辅助金属层下部的介质层作为停止层；

在去除所述顶层辅助金属层后的第一凹槽区域中，刻蚀所述介质层至暴露出所述中间辅助金属层的表面，所述中间辅助金属层作为第二停止层；

去除所述中间辅助金属层,形成第二凹槽区域；

对所述第一凹槽区域、所述第二凹槽区域、以及所述去除介质层的区域进行填充；所述填充区域的折射率低于感光区域以外的所述介质层的折射率。

2.根据权利要求1所述的前照式图像传感器的形成方法，其特征在于，刻蚀位于感光区域的介质层暴露出所述顶层辅助金属层的窗口大于所述顶层辅助金属层的范围。

3.根据权利要求1所述的前照式图像传感器的形成方法，其特征在于，所述介质层的刻蚀精度误差为5纳米至200纳米。

4.根据权利要求1所述的前照式图像传感器的形成方法，其特征在于，所述介质层为二氧化硅层、氮化硅层。

5.根据权利要求1所述的前照式图像传感器的形成方法，其特征在于，所述金属层的材质为铝、铜、钨。