[发明专利]一种陶瓷基板抗氧化处理装置

说明书

技术领域：

本发明涉及陶瓷基板处理设备技术领域，具体涉及一种陶瓷基板抗氧化处理装置。

背景技术：

陶瓷基板是指铜箔在高温下直接键合到氧化铝(Al2O3)或氮化铝(AlN)陶瓷基片表面(单面或双面)上的特殊工艺板。所制成的超薄复合基板具有优良电绝缘性能，高导热特性，优异的软钎焊性和高的附着强度，并可像PCB板一样能刻蚀出各种图形，具有很大的载流能力。因此，陶瓷基板已成为大功率电力电子电路结构技术和互连技术的基础材料。

陶瓷基板在使用前需要进行化银处理，化银处理后需要进行抗氧化处理，目前对化银后的陶瓷基板进行抗氧化处理的方法多种多样，然而，由于它们的采用的物质以及温度及时间的控制不尽相同，导致抗氧化处理效果各异，目前还没有一种方法可实现对化银后的陶瓷基板实现很好的抗氧化处理效果。且抗氧化过程通常要在陶瓷基板表面喷涂抗氧化层，抗氧化材料一般都会对人体产生危害，如何实现抗氧化处理过程的无人化是该领域急需解决的技术问题。

发明内容：

本发明的目的就是针对现有技术的不足，提供一种陶瓷基板抗氧化处理装置。

本发明的技术解决措施如下：

一种陶瓷基板抗氧化处理装置，包括陶瓷基板送入组件、循环提升组件、抗氧化喷涂组件以及陶瓷基板送出组件，抗氧化喷涂组件设置在循环提升组件的正上方，陶瓷基板送入组件以及陶瓷基板送出组件分别位于循环提升组件的两侧面；循环提升组件包括有机架、升降驱动单元、接料槽、出料槽以及升降单元，接料槽、出料槽分别位于循环升降组件的两侧，且与陶瓷基板送入组件、陶瓷基板送出组件衔接；升降单元和升降驱动单元位于机架上部；机架包括四根平行设置的支柱，支柱上固定连接有方形框架，方形框架上部两侧分别固定有门型架，门型架包括两根竖直支撑柱以及将其连接起来的横梁，相邻支柱的中部还连接有加强梁。

升降驱动装置包括驱动电机以及减速机，驱动电机通过电机安装座固定设置在加强梁上，减速机固定在方形框架上，驱动电机的输出轴连接有主动轮，减速机的输入轴连接有从动轮，主动轮和从动轮之间连接有驱动皮带。

支柱的下部设置有缓冲支脚，缓冲支脚为弹性结构。

升降单元包括提升链轮和提升链条，提升链轮分为两组，每组具有四个，每组提升链轮分别设置在门型架的四角，两组提升链条分别设置在两组提升链轮上，提升链条形成方形回路，两组提升链条之间分布有连接杆，连接杆的两端分别与两组提升链条固定连接，连接杆上固定有安装板，安装板上设置有真空吸盘。

连接杆为多根，相邻连接杆之间的距离相等，安装板的长度小于连接杆的长度，且连接杆的宽度小于安装板的宽度，安装板上的真空吸盘具有多个，且相邻真空吸盘之间的距离相等。

升降驱动装置与控制组件电连接，控制组件内部预先设定进行一块陶瓷基板抗氧化处理的时间，控制组件根据该时间对升降驱动装置进行间歇控制，从而实现升降组件的间歇运动。

真空吸盘包括主体部、连接部以及吸盘部,主体部与连接部通过紧固螺钉固定连接，吸盘部紧密套设在连接部上，主体部外部还连接有真空管路；主体部为中空结构，其内部设置有固定件，固定件下部具有托举件，固定件包括球头和设置在球头上部的管状部，球头和管状部均设置有通路，管状部穿出主体部与真空管路通过卡箍密闭连接，球头内部的通路向外延伸并与穿过连接部的真空吸管连接，真空吸管的末端位于吸盘部内，吸盘部的内表面为波浪状，吸盘部的外部为喇叭状；吸盘部的边缘还设置有除静电网。

本发明的有益效果在于：该陶瓷基板抗氧化处理装置实现了抗氧化处理的自动化操作，其接受待加工陶瓷基板，并通过真空吸盘将其提升至抗氧化处理区域，抗氧化处理完成后，陶瓷基板随着升降组件输出，占用空间小，能够连续生产。

附图说明：

图1为循环提升组件的结构示意图；

图2为循环提升组件的正视图；

图3为机架的结构示意图；

图4为真空吸盘的结构示意图。

具体实施方式：

为了使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做出详细的说明。