[发明专利]半导体制程输送系统及方法

权利要求书

1.半导体制程输送系统，其特征在于，包括：

一位移机构，包括一沿一第一方向延伸的第一轨道；

复数机台，复数机台分别设于该第一轨道的两侧，各机台具有一工作平台，该工作平台供置放至少一晶座盒，各晶座盒供容置至少一晶圆，各工作平台具有一邻近且面对该第一轨道的入料端；

一拿取机构，可活动地设于该第一轨道且可移动至其中一机台的入料端，以自其中一工作平台拿取一晶座盒或将一晶座盒置放于其中一工作平台。

2.如权利要求1所述的半导体制程输送系统，其特征在于，所述拿取机构设有一转动机构，该转动机构连接于所述第一轨道与拿取机构之间，该转动机构可选择性地沿垂直于复数工作平台的平面方向的方向转动，以转动所述拿取机构，以将所述晶座盒的一开口面以朝向所述机台的入料端的方向将所述晶座盒放置至所述工作平台。

3.如权利要求2所述的半导体制程输送系统，其特征在于，所述转动机构包括一枢座及一转轴，该枢座滑设于所述第一轨道，该转轴以垂直于复数工作平台的平面方向的方向转动地设于该枢座并连接于所述拿取机构。

4.如权利要求3所述的半导体制程输送系统，其特征在于，所述转轴可沿垂直于复数工作平台的平面方向的方向移动，所述第一轨道沿一横向于所述第一方向的第二方向滑设于一第二轨道，该第二方向平行于所述工作平台的平面方向。

5.如权利要求1所述的半导体制程输送系统，其特征在于，所述第一轨道沿一横向于所述第一方向的第二方向滑设于一第二轨道，该第二方向平行于所述工作平台的平面方向。

6.如权利要求1所述的半导体制程输送系统，其特征在于，所述拿取机构包括两侧板及一取料件，该取料件设于两侧板之间并供可选择地与所述晶座盒相连接。

7.如权利要求1所述的半导体制程输送系统，其特征在于，各晶座盒设有一晶片，该晶片供记录容置于所述晶座盒内的复数晶圆的制程纪录，所述拿取机构设有一感应装置，该感应装置供感应所述拿取机构所拿取的晶座盒的晶片。

8.如权利要求1所述的半导体制程输送系统，其特征在于，还包括一置晶匣集中站，该置晶匣集中站供复数晶座盒集中容置并相互堆叠，所述拿取机构可移动至其中一机台的入料端与该置晶匣集中站之间，以自其中一工作平台拿取一晶座盒并将该晶座盒置放于该置晶匣集中站；或自该置晶匣集中站拿取一晶座盒并将该晶座盒置放于其中一工作平台。

9.半导体制程输送方法，其特征在于，包括以下步骤：

(a)提供一沿一第一方向延伸的第一轨道；

(b)将复数机台分别设于该第一轨道的两侧，并将一供置放至少一晶座盒的工作平台设于各机台，将至少一晶圆供容置于各晶座盒，各工作平台具有一邻近且面对该第一轨道的入料端；

(c)将一拿取机构可活动地设于该第一轨道，该拿取机构可活动至其中一机台的入料端，并通过该拿取机构自其中一工作平台拿取一晶座盒或将一晶座盒置放于其中一工作平台。

10.如权利要求9所述的半导体制程输送方法，其特征在于，将一转动机构设于所述拿取机构，通过该转动机构可选择性地沿垂直于复数工作平台的平面方向的方向转动并连接于所述第一轨道与拿取机构之间，所述拿取机构即可将所述晶座盒的一开口面朝向所述机台的入料端，并将所述晶座盒放置至所述工作平台。