[发明专利]一种钕玻璃包边面形测量装置

说明书

本发明公开了一种钕玻璃包边面形测量装置，包括安装架，在安装架上设置有钕玻璃包边放置平台，在钕玻璃包边放置平台上方的安装架上设置有左右走向的导轨，在导轨上滑动设置有能在导轨上左右移动的干涉仪，在干涉仪的二维调整架上设置有标准块，在标准块左右两侧的安装架上分别相对设置有测角激光器及测角相机，所述测角激光器射出的激光光束经过标准块左右两表面后能被测角相机所接收。本发明的优点是：能对标准块的相对偏转角进行测量，标准块相对偏转角可用于辅助修正干涉仪的测量值，大大提高了对钕玻璃包边的面形检测精度。

技术领域

本发明涉及光学精密测量技术领域，具体涉及一种钕玻璃包边面形测量装置。

背景技术

钕玻璃是大型高功率固定激光装置放大器的主要激光放大介质，钕玻离作为放大工作介质时，钕玻璃需要包边来抑制激光信号增益时的自发辐射。为保证钕玻璃包边能与钕玻璃稳定胶合，因此在钕玻璃胶合包边之间必须对钕玻璃包边的面形精度(面形精度简称PV)进行测量，干涉仪是常用的精密测量设备。目前所使用的钕玻璃包边面形测量装置存在面形检测精度低的缺点。

发明内容

本发明的目的是提供一种面形检测精度高的钕玻璃包边面形测量装置。

为实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：所述的一种钕玻璃包边面形测量装置，包括安装架，在安装架上设置有钕玻璃包边放置平台，在钕玻璃包边放置平台上方的安装架上设置有左右走向的导轨，在导轨上滑动设置有能在导轨上左右移动的干涉仪，在干涉仪的二维调整架上设置有标准块，在标准块左右两侧的安装架上分别相对设置有测角激光器及测角相机，所述测角激光器射出的激光光束经过标准块左右两表面后能被测角相机所接收。

进一步地，前述的一种钕玻璃包边面形测量装置，其中：所述标准块的结构为：标准块呈长方体，标准块的宽度与钕玻璃包边宽度相匹配，标准块的长度为其宽度的1.5～2倍，标准块的高度为其长度的1/6倍，标准块上表面的面形精度PV≤λ/2，标准块下表面的面形精度PV≤λ/10，标准块左表面的面形精度PV≤λ/2，标准块右表面的面形精度PV≤λ/2，标准块的上表面与下表面之间形成的楔角为3～5′，并且标准块的左表面与右表面之间形成的楔角能确保测角激光器射出的激光光束经过标准块左右两表面后能被测角相机所接收。

进一步地，前述的一种钕玻璃包边面形测量装置，其中：在安装架上由左到右依次设置有若干卡位点，相邻卡位点之间的距离正好与标准块长度相匹配。

通过上述技术方案的实施，本发明的优点是：能对标准块的相对偏转角进行测量，标准块相对偏转角可用于辅助修正干涉仪的测量值，大大提高了对钕玻璃包边的面形检测精度。

附图说明

图1为本发明所述的一种钕玻璃包边面形测量装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明。