[发明专利]一种量子效率的测试方法

说明书

本发明提供了一种量子效率的测试方法，所述测试方法包括：在单色仪的入光口设置光源；在所述单色仪的出光口设置光功率计，且所述光功率计完全接收所述单色仪的出射光；待测感光器件设置在位移装置上；其中，所述光功率计在设定位置获取所述设定位置的光功率，且通过匀速驱动所述位移装置在设定时间内使所述待测感光器件全部接受所述单色仪的出射光进行成像；获取所述待测感光器件成像后的图像灰度值，依据所述图像灰度值及所述光功率，获得所述待测感光器件的量子效率。该测试方法对待测感光器件的量子效率的测试结果精确度高。

技术领域

本发明涉及电子学测量方法技术领域，更具体地说，涉及一种量子效率的测试方法。

背景技术

随着科学技术的不断发展，在图像采集、超光谱成像、粒子成像测速、快速移动目标的追踪与定位等应用中都需要高分辨率、高灵敏度的感光器件，如CCD传感器，CMOS传感器。为了满足工作使用要求，对感光器件的量子效率该特征有很高的要求，且对感光器件的量子效率的重复测试精度需小于3％。

现有技术量子效率的测试方法为积分球测试法，该积分球测试方法通过单色仪从光源处分光获得具有一定半峰宽的单色光，并入射至积分球，经过积分球进行均化处理得到均匀的面光源，再通过光功率计测试得出距离积分球某一位置的光功率，将待测感光器件放置至该位置进行曝光成像，得到相应光强下的灰度值，将该位置的光功率及该灰度值带入算法公式，进而得出待测感光器件在不同波长下的量子效率。

但是，由于积分球出射光的出射角度很大，且光强会随着距离的增长而递减，为了提高积分球出射光的光能量，需要使单色仪出射光的半峰宽增大，进而导致测试分辨率很低，测试误差大。并且，在测试过程中光功率计的测试位置与待测感光器件的测试位置，由于通过人工摆放会存在一定的误差，使对待测感光器件重复性测试结果误差大，且由于存在人为因素的影响也会使测试结果误差大。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供了一种量子效率的测试方法，该测试方法可以解决现有技术中存在的问题，感光器件量子效率的测试结果精确度高。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种量子效率的测试方法，用于测试感光器件的量子效率，所述测试方法包括：

在单色仪的入光口设置光源；

在所述单色仪的出光口设置光功率计，且所述光功率计完全接收所述单色仪的出射光；

待测感光器件设置在位移装置上；

其中，所述光功率计在设定位置获取所述设定位置的光功率，且驱动所述位移装置在设定时间内使所述待测感光器件全部接受所述单色仪的出射光进行成像；

获取所述待测感光器件成像后的图像灰度值，依据所述图像灰度值及所述光功率，获得所述待测感光器件的量子效率。

优选的，在上述测试方法中，所述光源、所述单色仪、所述光功率计及所述位移装置设置在空气隔振平台装置上。

优选的，在上述测试方法中，所述驱动所述位移装置在设定时间内使所述待测感光器件全部接受所述单色仪的出射光进行成像包括：

在设定时间内，通过匀速驱动所述位移装置使所述待测感光器件全部接受所述单色仪的出射光，进行成像。

优选的，在上述测试方法中，所述光源为滨松氘灯源或赛凡卤钨灯源。

优选的，在上述测试方法中，所述单色仪为Newport CornerstoneTM260单色仪。

优选的，在上述测试方法中，所述光功率计为Newport 1936-R光功率计。

优选的，在上述测试方法中，所述位移装置为Newport UTS100CC位移装置。