[发明专利]一种冷却器及制备碳纳米管的高真空系统在审
| 申请号: | 201611219442.0 | 申请日: | 2016-12-26 |
| 公开(公告)号: | CN108240725A | 公开(公告)日: | 2018-07-03 |
| 发明(设计)人: | 宋晓彬;王晓飞;赵福平;郑建宇;杨海燕;周蓉 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号: | F25D1/02 | 分类号: | F25D1/02;C01B32/16 |
| 代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 汤财宝 |
| 地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 定位筒 壳体 水冷管 端盖 元器件 出气管 水冷环 高真空系统 制备碳纳米 进气管 冷却器 连通 穿过 规模化生产 外界冷却水 高温气体 壳体内部 螺旋缠绕 使用寿命 维护维修 下游管道 下游真空 碳纳米 排出 入壳 伸入 外壁 吸附 焊接 粉尘 管制 | ||
1.一种冷却器,其特征在于:包括壳体、端盖、水冷环、进气管和出气管,所述壳体与所述端盖连接,所述水冷环设置于所述壳体内部,所述水冷环包括定位筒和水冷管,所述定位筒一端与所述端盖连接,另一端与所述壳体之间留有空隙,所述水冷管螺旋缠绕并焊接在所述定位筒外壁上,所述水冷管的两端均穿过所述端盖与外界冷却水源连通,所述进气管与所述壳体连通,所述出气管穿过所述壳体伸入所述定位筒内,以使气体通入所述壳体中接触所述水冷管后进入所述定位筒中,通过所述出气管排出。
2.根据权利要求1所述的冷却器,其特征在于:所述壳体包括壳罩和法兰连接件,所述法兰连接件设置于所述壳罩的敞口端,所述端盖为法兰盘,所述端盖与所述法兰连接件通过螺钉连接。
3.根据权利要求1所述的冷却器,其特征在于:所述端盖上设有冷却水进口和冷却水出口,所述水冷管的两端分别与所述冷却水进口和所述冷却水出口连接。
4.根据权利要求2所述的冷却器,其特征在于:所述端盖与所述法兰连接件之间还设有密封圈。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的冷却器,其特征在于:所述水冷管为不锈钢管。
6.一种制备碳纳米管的高真空系统,其特征在于:包括如权利要求1-5任一项所述的冷却器。
7.根据权利要求6所述的制备碳纳米管的高真空系统,其特征在于:还包括真空元器件、真空管道和波纹管,所述冷却器的进气管与所述波纹管连接,所述冷却器的出气管与所述真空管道连接,所述真空管道上设有所述真空元器件。
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