[发明专利]一种柔性OLED显示屏薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种柔性OLED显示屏薄膜的制备方法，所述方法采用丙烯酸及衍生物单体作为有机膜原料，采用射频磁控溅射的方法在有机膜上制备无机介质致密膜层，包括以下步骤：

（1）清洗塑料衬底，获得清洁的塑料衬底；清洗塑料衬底包括以下步骤：

在乙醇溶液中超声清洗10-15分钟，去除塑料衬底表面的油脂，然后用去离子水冲洗，去除塑料衬底表面的盐，在40-50℃的氩气保护下烘干塑料衬底；

所述氩气为纯度为99.9%，氩气的环境气压为100-1000Pa；

（2）在所述清洁塑料衬底上，采用100-120℃的蒸发温度，真空度下，蒸镀50-200nm的丙烯酸及衍生物单体，衬底温度设置为50-80℃，使得蒸发到衬底的丙烯酸及衍生物单体经过聚合固化，凝结成一种柔性透明的膜；

（3）然后在将Al₂O₃无机介质致密膜层通过射频溅射的方法，控制射频溅射的参数为溅射功率120W，溅射气压为0.5Pa，沉积温度为50℃沉积到聚合物薄膜层上，控制Al₂O₃无机介质致密膜层的厚度为200nm，再将VO₂无机介质致密膜层通过射频溅射的方法，控制射频溅射的参数为溅射功率100W，溅射气压为0.6Pa，沉积温度为50℃沉积到Al₂O₃层上，控制VO₂无机介质致密膜层的厚度为100nm，作为阻挡水汽和氧气的屏障。

2.根据权利要求1所述的一种柔性OLED显示屏薄膜的制备方法，其特征在于，所述丙烯酸及衍生物单体包括：丙烯酸、丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸正丁酯的任一种。

3.根据权利要求1所述的一种柔性OLED显示屏薄膜的制备方法，其特征在于，在所述固化时间为30-50分钟。