[发明专利]二硫化钼薄膜条带结构可调太赫兹波滤波器

说明书

本发明公开了一种二硫化钼薄膜条带结构可调太赫兹波滤波器。它包括基底层、二氧化硅层、右端矩形二硫化钼薄膜、条状二硫化钼薄膜、左端矩形二硫化钼薄膜、第一圆形开槽、第二圆形开槽、第三圆形开槽、第四圆形开槽、第五半圆形开槽、第六半圆形开槽、第七圆形开槽、第八圆形开槽、第九圆形开槽、第十圆形开槽、信号输入端、信号输出端，通过调节施加在二硫化钼薄膜层与基底层之间的偏置直流电压，调节二硫化钼薄膜的有效介电常数，实现太赫兹信号的可调滤波功能。本发明具有结构简单，尺寸小，响应快，操控方法灵活易实现等优点。

技术领域

本发明涉及太赫兹波滤波器，尤其涉及一种二硫化钼薄膜条带结构可调太赫兹波滤波器。

背景技术

太赫兹(THz)波是指频率介于0.1～10THz(波长30～3mm)之间的电磁波，位于电磁波谱中的微波与可见光波之间。过去由于太赫兹波的产生和探测较为困难,人们对这一波段的特性知之甚少。近年来，随着太赫兹源和探测技术的逐步成熟，太赫兹技术取得了快速的发展，在通信、成像、医药、生物、化学等领域展现出巨大的应用价值。作为太赫兹应用系统中的重要组成部分，太赫兹调制器、隔离器、偏振控制器、传感器等功能器件必不可少。设计制备性能优良，使用方便的太赫兹功能器件是当今太赫兹研究领域的一大热点。

如果将太赫兹用于通信方面,我们可获得很高的传输速率,尤其是在卫星通信领域。这就使得太赫兹通信能够非常宽的带宽进行高保密卫星通信。尽管由于高效的太赫兹发射源的缺乏,使其还不能在通信领域得商业化,但新型的发射装置和发射源的实现必将打破这一局限。太赫兹滤波器是太赫兹通信和成像系统的重要功能部件之一，太赫兹滤波器的深入研巧对太赫兹科学和技术的应用具有深远意义。随着太赫兹滤波器研究的不断深入,近年来陆续提出的基于二硫化钼薄膜的太赫兹滤波器的具体实现结构,很大程度上促进了应用于太赫兹波段的滤波器的研究。

发明内容

本发明为了克服现有技术不足，提供一种结构简单、滤波性能高的二硫化钼薄膜条带结构可调太赫兹波滤波器。

为了达到上述目的，本发明的技术方案如下：

二硫化钼薄膜条带结构可调太赫兹波滤波器包括基底层、二氧化硅层、右端矩形二硫化钼薄膜、条状二硫化钼薄膜、左端矩形二硫化钼薄膜、第一圆形开槽、第二圆形开槽、第三圆形开槽、第四圆形开槽、第五半圆形开槽、第六半圆形开槽、第七圆形开槽、第八圆形开槽、第九圆形开槽、第十圆形开槽、信号输入端、信号输出端；基底层的上层为二氧化硅层，二氧化硅层的上层铺有右端矩形二硫化钼薄膜、条状二硫化钼薄膜、左端矩形二硫化钼薄膜，条形二硫化钼薄膜上设有第一圆形开槽、第二圆形开槽、第三圆形开槽、第四圆形开槽、第五半圆形开槽、第六半圆形开槽、第七圆形开槽、第八圆形开槽、第九圆形开槽、第十圆形开槽，第一圆形开槽、第二圆形开槽、第三圆形开槽、第四圆形开槽、第五半圆形开槽、第六半圆形开槽、第七圆形开槽、第八圆形开槽、第九圆形开槽、第十圆形开槽在条形二硫化钼薄膜中部自左向右顺序排列，右端矩形二硫化钼薄膜的左端与条形二硫化钼薄膜的右端相连，条形二硫化钼薄膜的左端与左端矩形二硫化钼薄膜的右端相连，右端矩形二硫化钼薄膜的右端与二氧化硅层的右端相连，左端矩形二硫化钼薄膜的左端与二氧化硅层的左端相连，左端矩形二硫化钼薄膜的左端设有信号输入端，右端矩形二硫化钼薄膜的右端设有信号输出端；太赫兹信号从信号输入端输入，从信号输出端输出。二硫化钼薄膜层与基底分别连接偏置直流电压源的两极，调节外加偏置直流电压源的电压会改变二硫化钼薄膜的有效介电常数，从而可以控制太赫兹波的传输，实现可调滤波器效果。