[发明专利]清洁膜的真空镀膜方法及镀膜器件在审
| 申请号： | 201611201051.6 | 申请日： | 2016-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN106521417A | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 林志龙;曾妩;程朝阳;张俊惠 | 申请（专利权）人： | 北京科勒有限公司;南昌科勒有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/10 | 分类号： | C23C14/10;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京邦信阳专利商标代理有限公司11012 | 代理人： | 金玺 |
| 地址： | 101599 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洁 真空镀膜 方法 镀膜 器件 | ||
【权利要求书】：
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