[发明专利]一种气体分析装置

说明书

一种气体分析装置，用于检测气体杂质，包括：第一测量管路，入口连接传输待测气体的主管路，出口设有第一接口；第二测量管路，包括纯化器，所述纯化器入口连接所述主管路，所述纯化器出口并联设有第二接口及第三接口，仅在所述第三接口与所述纯化器出口之间连接有标准气体发生器；还包括检测装置，具有气体入口和气体出口，所述气体入口在第一位置仅连接所述第一接口以形成第一流路，在第二位置仅连接所述第二接口以形成第二流路，在第三位置仅连接所述第三接口以形成第三流路。本发明的检测装置气体入口在不同位置连接不同接口，取消了可能残留前次检测气体的管路，使得前次检测的气体不会对后续的检测造成影响，缩短了等待时间。

技术领域

本发明涉及检测领域，具体为一种气体分析装置。

背景技术

在半导体制造、石油化工、制药等高端应用领域，有众多场合需要检测气体中的杂质，如微量水分，其浓度可达ppb级别。例如在半导体制造过程中，所使用的电子特气中水分含量超标将严重影响最终的电子元器件产品的质量。`

目前常见的测量气路系统如图1所示，1为主气路管道，从主气路管道中分出的支路2用于进行水分浓度分析，支路气流首先通过一个节流阀3，用于将气体流速降低减轻对传感器的气流冲击，电磁阀4、5、6、7用于控制气流流向，电磁阀4用于控制整个分析系统的工作状态，关闭电磁阀4将切断整个微量水分分析系统。电磁阀5、6、7分别控制支路8、9、10的流通状态，在同一时间只有一个支路可以流通。系统工作时，首先打开电磁阀4和6，关闭5和7，被分析气体流经支路2、节流阀3、电磁阀4、纯化器11、支路10、电磁阀6、传感器12，传感器12测量的是可以认为不含水分的超纯气体，获得传感器的零响应；随后打开电磁阀4和7，关闭5和6，被分析气体流经支路2、节流阀3、电磁阀4、纯化器11、标准气体发生器13、支路8、电磁阀7、传感单元12，传感器12得到的信号响应是含有标准的已知浓度水分的气流响应；最后打开电磁阀4和5，关闭电磁阀6和7，被分析气体流经支路2、节流阀3、电磁阀4、支路9、电磁阀5、传感单元12，传感器得到的信号响应是被测气路中的水分带来的响应。

然而，该种检测方法由于通路8、9、10中的阀后管路14、15、16残留部分相应的检测气体，在由某一检测模式转换为另一检测模式后，前一检测模式在相应管路中残留的气体将会被吸入和/或扩散进入正在检测模式相对应的管路中，这些残留的气体混入正在检测的管路中的气体中会对传感单元的检测造成干扰。通常的解决手段就是在转换检测模式后，等待一段时间，来使吸入和/或扩散进入待检测管路中的残留气体逐渐稀释到符合检测要求的程度，再进行正式的检测，这一等待时间通常称为“稳定时间”。显然，的阀后管路14、15、16越长造成传感单元12的信号变换时稳定时间增长，响应速度严重变慢，信号质量变差，测量精度下降。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题是：现有技术在检测中转换的稳定时间长，响应速度慢的问题，从而提供一种气体分析装置。

一种气体分析装置，用于检测气体杂质，包括：

第一测量管路，入口连接传输待测气体的主管路，出口设有第一接口；

第二测量管路，包括纯化器，所述纯化器入口连接所述主管路，所述纯化器出口并联设有第二接口及第三接口，仅在所述第三接口与所述纯化器出口之间连接有标准气体发生器；

还包括检测装置，具有气体入口和气体出口，所述气体入口在第一位置仅连接所述第一接口以形成第一流路，在第二位置仅连接所述第二接口以形成第二流路，在第三位置仅连接所述第三接口以形成第三流路。

进一步的，还包括排气管；所述检测装置的所述气体出口至少在所述第一流路、所述第二流路、所述第三流路之一导通时连通所述排气管的入口。

进一步的，所述排气管出口连通所述主管路。