[发明专利]一种多孔金属多孔石英复合滤芯的制备方法及其滤芯

权利要求书

1.一种多孔金属多孔石英复合滤芯的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S1：制作过滤精度为5～1000um的多孔金属过滤基材；

步骤S2：通过离子镀的方式在多孔金属过滤基材的表面喷镀厚度为5-50um、过滤精度为0.1-100um的多孔石英材料，制成多孔金属多孔石英复合基材；

步骤S3：将多孔石英复合基材卷绕形成内层为金属过滤基材、外层为多孔石英材料的管状；

步骤S4：将金属骨架焊接并支撑固定在管状的多孔石英复合内。

2.根据权利要求1所述的多孔金属多孔石英复合滤芯的制备方法，其特征在于，所述金属过滤基材为金属粉末多孔滤材、或者多层金属网多孔滤材、或者金属纤维丝、或者不锈钢合金、或者不锈钢单质金属制成的多孔滤材。

3.根据权利要求1所述的多孔金属多孔石英复合滤芯的制备方法，其特征在于，在步骤S1中，制作多孔金属过滤基材的步骤包括：

步骤S11：将不锈钢金属粉末放到氢气还原炉中预先还原；

步骤S12：将上述金属粉末通过流延法制备出金属粉末片生坯；

步骤S13:将上述生坯放入真空烧结炉中烧结得到孔隙率为5～1000um金属粉末片；

步骤S14：冷却出炉后将该金属粉末片裁切得到多孔金属粉末基材。

4.根据权利要求3所述的多孔金属多孔石英复合滤芯的制备方法，其特征在于，在步骤S11中，还原温度为700℃。

5.根据权利要求3所述的多孔金属多孔石英复合滤芯的制备方法，其特征在于，在步骤S11中，采用500～550目的不锈钢金属粉末；还原温度为650℃。

6.根据权利要求1所述的多孔金属多孔石英复合滤芯的制备方法，其特征在于，所述多孔石英材料包括石英、多晶硅、单晶硅中的一种或多种。

7.根据权利要求1所述的多孔金属多孔石英复合滤芯的制备方法，其特征在于，所述金属骨架为多孔冲孔板、或者多层金属烧结网、或者楔形金属网。

8.根据权利要求1所述的多孔金属多孔石英复合滤芯的制备方法，其特征在于，所述金属骨架由不锈钢单质或者不锈钢合金金属制成。

9.一种多孔金属多孔石英复合滤芯，其特征在于，包括滤芯本体；所述滤芯本体为管状结构，该滤芯本体的内壁设有支撑骨架；所述支撑骨架的外周包覆有多孔金属过滤层；所述多孔金属过滤层的外周包覆有多孔石英层。

10.根据权利要求9所述的多孔金属多孔石英复合滤芯，其特征在于，所述多孔金属过滤层的过滤精度5～1000um；所述多孔石英层的厚度为5-50um、过滤精度为0.1-100um。