[发明专利]自动调整紫外激光光束位置的方法有效

专利信息
申请号: 201611195388.0 申请日: 2016-12-22
公开(公告)号: CN106707403B 公开(公告)日: 2019-04-16
发明(设计)人: 沈华;舒剑;朱日宏;汤亚洲;葛诗雨;张秋庭 申请(专利权)人: 南京理工大学
主分类号: G02B6/02 分类号: G02B6/02;G03F7/20
代理公司: 南京理工大学专利中心 32203 代理人: 朱沉雁
地址: 210094 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 反射镜 透射光功率 柱面镜 光纤 紫外激光光束 反射镜反射 相位掩膜板 紫外激光器 光功率计 光纤纤芯 压电陶瓷 紫外光束 准分子 数据送入计算机 电控平移台 计算机反馈 紫外光 射入 纤芯 照射 测量 聚焦 响应
【说明书】:

发明公开了一种自动调整紫外激光光束位置的方法,包括准分子紫外激光器、第一反射镜、电控平移台、第二反射镜、柱面镜、相位掩膜板和光纤,准分子紫外激光器发出紫外光束,经第一反射镜反射至第二反射镜,经第二反射镜反射至柱面镜,经柱面镜聚焦至相位掩膜板,并入射至光纤,部分紫外光射入光纤内部导致光纤纤芯透射光功率发生改变,通过光功率计测量纤芯透射光功率是否处于最大值,并将光功率计所测数据送入计算机,若不是最大值,计算机反馈一个信号给压电陶瓷,压电陶瓷接收信号并调整第二反射镜,使紫外光束准确的照射在光纤上,使得在光纤纤芯透射光功率最大。本发明具有精度高、响应快、自动调节等优点。

技术领域

本发明涉及光纤光栅制作领域,具体涉及一种自动调整紫外激光光束位置的方法。

背景技术

1978年,加拿大通信研究中心的K.O.Hill及其合作者首次从光纤中观察到了光子诱导光栅。Hill的早期光纤是用488nm可见光波长的亚离子激光器,通过增加或延长注入光纤纤芯中的光辐照时间而在纤芯中形成了光栅。后来G.Meltz等人利用高强度紫外光源所形成的干涉条纹对光纤进行侧面横向曝光在该光纤纤芯中所产生折射率调制或相位光栅。1989年,第一支布拉格波长位于通信波段的光纤光栅研制成功。1993年,Hill等人提出了相位掩模技术,它主要是利用紫外光透过相位掩模板后的±1级衍射光形成的干涉光对具有良好光敏性的光纤进行曝光处理,使得光纤纤芯的折射率产生周期性的变化,这项技术使得制作光纤光栅的工艺流程便得更加灵活和简便,有利于批量化工业化生产。

相位掩膜法是将光敏光纤贴近相位掩膜板,利用相位掩膜板近场衍射所产生的干涉条纹在光纤中形成折射率的周期性扰动,从而形成光纤光栅。相位掩膜板是基于光刻技术利用照相平板印刷技术,在透紫外光的平玻璃板表面上蚀刻出周期性的浮雕结构。当紫外光通过时,会产生衍射。在实际制作过程中,由于紫外激光光束的直径为900微米,而光纤芯径只有20微米,为了尽可能大的利用紫外激光的能量,在光路中使用柱面镜,在垂直方向上对紫外激光光束进行聚焦,光纤位于焦点处。同时,这也带来新的问题,由于光斑较小,稍有机械振动或是偏差,紫外激光光束就不能准确照射在光纤纤芯上,目前一般采用人眼观察和手动调节的方式,使紫外激光光束照射在光纤纤芯上。

发明内容

本发明的目的在于提供一种自动调整紫外激光光束位置的方法,能够实现相位掩膜板法制作光纤光栅时,紫外激光光束的自动调整,提高制作光纤光栅的精确性,实现自动化。

实现本发明目的的技术解决方案为:一种自动调整紫外激光光束位置的方法,方法步骤如下:

第一步、搭建自动调整紫外激光光束位置的装置:

所述自动调整紫外激光光束位置的装置包括准分子紫外激光器、第一反射镜、电控平移台、第二反射镜、柱面镜、相位掩膜板、光纤、压电陶瓷、光功率计和计算机,共光轴依次设置第二反射镜、柱面镜和相位掩膜板,第二反射镜通过固定座固定在电控平移台上,固定座上设有压电陶瓷,第二反射镜位于第一反射镜的反射光路上,准分子紫外激光器位于第一反射镜的入射光路上,光纤紧贴相位掩膜板且位于入射光线的相反方向,光功率计对准光纤的一端,采集光纤的透射光功率数据,光功率计和压电陶瓷分别与计算机连接,转入第二步。

第二步、打开准分子紫外激光器,准分子紫外激光器发出紫外光束,经第一反射镜反射至第二反射镜,经第二反射镜反射至柱面镜,经柱面镜聚焦至相位掩膜板,并入射至光纤,使得紫外光束在光纤发生色散,色散产生的荧光经光纤传输,通过光功率计接收光纤上的输出光功率,同时将数据实时传输给计算机,转入第三步。

第三步,判断光功率计所接收功率是否出现一个最大值,若不是,计算机反馈一个信号给压电陶瓷,转入第四步。

第四步,压电陶瓷接收信号并调整第二反射镜,使紫外光束准确的照射在光纤上,使得在光功率计上获得的功率值最大。

本发明与现有技术相比,其显著优点在于:

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