[发明专利]基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台

权利要求书

1.基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台，其特征在于，包括底座(10)和工作台(1)，底座(10)上依次平行设置有直线导轨(8)、直线电机(9)、用于定位支撑直线电机(9)的支撑板(11)、侧挡板(12)；

直线导轨(8)上装配有两个滑块(7)，每个滑块(7)和工作台(1)之间均装有柔性体(4)；

所述滑块(7)为滚珠式滑块或者滚柱式滑块；

侧挡板(12)上设置有光栅编码器定尺(14)，工作台(1)上设置有与光栅编码器定尺(14)相配合的光栅编码器滑尺(3)；

所述柔性体(4)包括通过交叉铰接板(19)连接的U型框架和矩形块，U型框架上开有螺栓孔a(17)，U型框架与所述滑块(7)通过穿过螺栓孔a(17)的螺栓连接，矩形块上开有螺栓孔b(18)，矩形块与所述工作台(1)通过穿过螺栓孔b(18)的螺栓连接，交叉铰接板(19)上装有压电柱(16)。

2.根据权利要求1所述基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台，其特征在于，所述底座(10)两端对称设置有端面挡板(5)，端面挡板(5)上设置有缓冲器(6)。

3.根据权利要求1所述基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台，其特征在于，所述工作台(1)通过连接板(2)与拖链(15)连接，拖链(15)内穿有用于连接光栅编码器滑尺(3)的电缆(13)。