[发明专利]一种增大比表面积的氮掺杂二氧化钛薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201611188587.9 | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN106582764A | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 彭寿;马立云;杨勇;姚婷婷;金克武;李刚;沈洪雪;王天齐;甘治平;徐根保 | 申请（专利权）人： | 蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司 |
| 主分类号： | B01J27/24 | 分类号： | B01J27/24;B01J35/10;B01J37/34 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所34113 | 代理人： | 杨晋弘 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 增大 表面积 掺杂 氧化 薄膜 制备 方法 | ||
1.一种增大比表面积的氮掺杂二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
（1）采用氢氟酸和四甲基氢氧化铵TMAH混合后的复合溶液对玻璃基片进行喷淋，使玻璃基片喷淋的表面具有凹凸不平的微结构；
（2）清洗玻璃基片，后用高压N2吹干；
（3）采用磁控溅射技术在所述玻璃基片表面微结构上沉积氮掺杂二氧化钛薄膜，从而得到具有更大比表面积的薄膜。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，氢氟酸为质量浓度≥40%的氢氟酸水溶液，TMAH为质量浓度≥25%的四甲基氢氧化铵水溶液；复合溶液中氢氟酸和TMAH的体积比为1：（30～60）。
3.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，使用复合溶液喷淋时间为20～40s。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中，清洗玻璃基片，包括先用丙酮超声20min，再用酒精超声20min，最后用去离子水超声20min。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（3）中，磁控溅射镀氮掺杂二氧化钛薄膜，本底真空≤8×10-4Pa；工作压强4～6×10-1Pa；射频溅射功率150～200W；靶材为TiO2靶；溅射工艺气体Ar流量20～30sccm；反应气体N2流量3～5sccm；膜层厚度300～500nm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司，未经蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201611188587.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
