[发明专利]检测设备、曝光设备和制造设备的方法

权利要求书

1.一种检测设备，其特征在于，具有从相对于待检测物体的待检测表面的法线的倾斜方向投影检测光的投影系统以及接收由待检测物体反射的反射光的光接收系统，并且该检测设备基于由光接收系统获得的数据来检测待检测表面的位置，

反射光包括在待检测表面上反射的前表面反射光以及透射通过待检测表面并且在待检测物体的背面上反射的背面反射光，

光接收系统包括将反射光分离成第一偏振光分量和第二偏振光分量的偏振光分离单元、以及检测第一偏振光分量和第二偏振光分量的检测单元，

投影系统或光接收系统被配置成使得由检测单元获得的背面反射光的第一偏振光分量和背面反射光的第二偏振光分量相等，并且投影系统或光接收系统包括基于由检测单元获得的示出第一偏振光分量的数据与示出第二偏振光分量的数据之间的差分数据来计算所述位置的计算单元。

2.根据权利要求1所述的检测设备，

其中投影系统将检测光投影到待检测表面，使得检测光的第一偏振光分量在背面中的反射率与检测光的第二偏振光分量在背面中的反射率相等。

3.根据权利要求1所述的检测设备，

其中投影系统或光接收系统包括偏振光调整单元，该偏振光调整单元调整反射光的偏振光状态以使得背面反射光的第一偏振光分量与背面反射光的第二偏振光分量相等。

4.根据权利要求1所述的检测设备，

其中投影系统或光接收系统被配置成使得表示由检测单元检测的前表面反射光的第一偏振光分量的光强度的波形数据的形状与表示由检测单元检测的前表面反射光的第二偏振光分量的光强度的波形数据的形状为相似的关系。

5.一种检测设备，其特征在于，具有从相对于待检测物体的待检测表面的法线的倾斜方向投影检测光的投影系统、以及接收由待检测物体反射的反射光的光接收系统，并且该检测设备基于由光接收系统获得的数据来检测待检测表面的位置，

反射光包括在待检测表面上反射的前表面反射光、以及透射通过待检测表面并且在待检测物体的背面上反射的背面反射光，

光接收系统包括将反射光分离成第一偏振光分量和第二偏振光分量的偏振光分离单元、以及检测第一偏振光分量和第二偏振光分量的检测单元，

投影系统或光接收系统被配置成使得表示由检测单元检测的背面反射光的第一偏振光分量的光强度的波形数据的形状与表示由检测单元检测的前表面反射光的第二偏振光分量的光强度的波形数据的形状为相似的关系，并且表示由检测单元检测的前表面反射光的第一偏振光分量的光强度的波形数据的形状与表示由检测单元检测的背面反射光的第二偏振光分量的光强度的波形数据的形状为相似的关系，并且投影系统或光接收系统包括基于由检测单元获得的示出第一偏振光分量和第二偏振光分量的数据之间的差分数据来计算在法线方向上的所述位置的计算单元。

6.根据权利要求5所述的检测设备，

其中计算单元获得差分数据以便使背面反射光的第一偏振光分量与前表面反射光的第二偏振光分量抵消，或者以便使前表面反射光的第一偏振光分量与背面反射光的第二偏振光分量抵消。

7.根据权利要求5所述的检测设备，

其中投影系统将检测光投影到待检测表面，使得检测光的第一偏振光分量在背面中的反射率与检测光的第二偏振光分量在待检测表面中的反射率相等，并且使得检测光的第二偏振光分量在背面中的反射率与检测光的第一偏振光分量在待检测表面中的反射率相等。

8.根据权利要求5所述的检测设备，

其中投影系统或光接收系统包括偏振光调整单元，该偏振光调整单元调整反射光的偏振光状态以使得由检测单元检测的每个偏振光分量的光强度为相似的关系。

9.一种将原版的图案转印到基板上的曝光区域上的曝光装置，其特征在于，该曝光装置包括根据权利要求1所述的检测基板的表面的位置的检测设备，所述基板的表面被用作待检测的表面。

10.一种物品的制造方法，其特征在于，包括：

通过使用根据权利要求9所述的曝光装置来使基板曝光的曝光过程；以及

使已经曝光的基板显影的显影过程。