[发明专利]一种啁啾数字递变结构的低缺陷异变缓冲层有效

专利信息
申请号: 201611153882.0 申请日: 2016-12-14
公开(公告)号: CN106601839B 公开(公告)日: 2018-03-09
发明(设计)人: 马英杰;顾溢;张永刚 申请(专利权)人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
主分类号: H01L31/0352 分类号: H01L31/0352;H01L21/02
代理公司: 上海泰能知识产权代理事务所31233 代理人: 黄志达,魏峯
地址: 200050 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 啁啾 数字 递变 结构 缺陷 缓冲
【权利要求书】:

1.一种啁啾数字递变结构的低缺陷异变缓冲层,其特征在于:所述缓冲层包含N个层厚相同的周期性过渡层,每个周期内均包含A、B两层材料,且A、B材料的厚度比从N:1依次递变到1:N;其中,N≥2,A材料的晶格常数为a,B材料的晶格常数为b,a与b不同。

2.根据权利要求1所述的一种啁啾数字递变结构的低缺陷异变缓冲层,其特征在于:所述A、B材料具有相同的空间晶格点阵结构。

3.根据权利要求1所述的一种啁啾数字递变结构的低缺陷异变缓冲层,其特征在于:所述A、B材料具有相同或者不同的元素种类数目。

4.根据权利要求1所述的一种啁啾数字递变结构的低缺陷异变缓冲层,其特征在于:所述A、B材料的厚度比的变化方式具体为:N:1,(N-1):2,(N-2):3,(N-3):4,……,4:(N-3),3:(N-2),2:(N-1),1:N。

5.根据权利要求1所述的一种啁啾数字递变结构的低缺陷异变缓冲层,其特征在于:所述缓冲层的总厚度为T nm,T>0。

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