[发明专利]基板检查装置

权利要求书

1.一种基板检查装置，所述基板检查装置检查基板的表面背面两面，其特征在于，包括：

至少一个表面侧照射单元，所述至少一个表面侧照射单元能够向所述基板的表面侧的预定的检查范围照射预定的光；

表面侧拍摄单元，所述表面侧拍摄单元能够拍摄被照射了预定的光的所述基板的表面侧的预定的检查范围；

至少一个背面侧照射单元，所述至少一个背面侧照射单元能够向所述基板的背面侧的预定的检查范围照射预定的光；

背面侧拍摄单元，所述背面侧拍摄单元能够拍摄被照射了预定的光的所述基板的背面侧的预定的检查范围；以及

检查单元，所述检查单元能够基于通过由所述表面侧照射单元及所述表面侧拍摄单元进行的所述基板的表面侧的预定的检查范围涉及的图像获取处理来获取的多个图像数据，来执行该检查范围涉及的检查，并且能够基于通过由所述背面侧照射单元及所述背面侧拍摄单元进行的所述基板的背面侧的预定的检查范围涉及的图像获取处理来获取的多个图像数据，来执行该检查范围涉及的检查，

在从所述表面侧照射单元照射光、且停止来自所述背面侧照射单元的光的照射，并执行了由所述表面侧拍摄单元进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理之后，停止来自所述表面侧照射单元的光的照射、且从所述背面侧照射单元照射光，执行由所述背面侧拍摄单元进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理，以及

在从所述背面侧照射单元照射光、且停止来自所述表面侧照射单元的光的照射，并执行了由所述背面侧拍摄单元进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理之后，停止来自所述背面侧照射单元的光的照射、且从所述表面侧照射单元照射光，执行由所述表面侧拍摄单元进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理，

由此，能够执行特定处理，所述特定处理是交替性进行由所述表面侧拍摄单元进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理、以及由所述背面侧拍摄单元进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理的处理。

2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

在所述特定处理中，在不能执行由所述表面侧拍摄单元进行的拍摄处理的期间或者不执行的期间，执行由所述背面侧拍摄单元进行的拍摄处理，并且，在不能执行由所述背面侧拍摄单元进行的拍摄处理的期间或者不执行的期间，由所述表面侧拍摄单元执行拍摄处理。

3.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述表面侧照射单元及所述表面侧拍摄单元、以及所述背面侧照射单元及所述背面侧拍摄单元被独立地驱动控制，

在能够独立地执行所述基板的表面侧的预定的检查范围涉及的图像获取处理、以及所述基板的背面侧的预定的检查范围涉及的图像获取处理的构成中，

在所述基板的表面侧的预定的检查范围涉及的图像获取处理、以及所述基板的背面侧的预定的检查范围涉及的图像获取处理至少一部分重叠的情况下，执行所述特定处理。

4.根据权利要求2所述的基板检查装置，其特征在于，

所述表面侧照射单元及所述表面侧拍摄单元、以及所述背面侧照射单元及所述背面侧拍摄单元被独立地驱动控制，

在能够独立地执行所述基板的表面侧的预定的检查范围涉及的图像获取处理、以及所述基板的背面侧的预定的检查范围涉及的图像获取处理的构成中，

在所述基板的表面侧的预定的检查范围涉及的图像获取处理、以及所述基板的背面侧的预定的检查范围涉及的图像获取处理至少一部分重叠的情况下，执行所述特定处理。

5.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述表面侧照射单元以及所述背面侧照射单元中的至少一个构成为能够照射具有条纹状的光强度分布的图案光作为所述预定的光，

所述检查单元构成为能够基于在不同相位的所述图案光之下拍摄的多个图像数据，执行根据相移法的三维测量。