[发明专利]一种磁性镀层的制备方法

说明书

本发明提供一种磁性镀层的制备方法，镀液由以下质量浓度的组份构成：六水氯化钴 48‑64g/L，氯化镍 214‑280g/L，硼酸 30‑60g/L，直径60纳米BaFe₁₂O₁₉ 5‑40g/L,超声搅拌30min，复合电沉积试验参数:电流密度0.5‑6A/dm²，pH值3.4,温度20‑60℃,120‑480 min。其具有性能持续、稳定，相容性好等优点。

技术领域

本发明涉及一种磁性镀层的制备方法。

背景技术

微机电系统(MEM)S是集微型传感器、微型驱动器及信号处理和控制电路于一体的微型机电系统。

磁性MEMS驱动器是微型驱动器中重要的一类，由于它具有能量消耗少，成本低，使用环境要求低，可实现双向、快速及长距离传输强大力矩的优点,被广泛应用于微机电系统。

微机电系统中磁性驱动器上的磁性镀层决定着驱动器的性能，因而此磁性镀层必须具备高 的磁能积和大的矫顽力,以保证持续、稳定地输出强大力矩。由于电沉积技术与MEMS制造 工艺的相容性非常好,因此电沉积技术是制备MEMS驱动器上磁性镀层的重要方法之一。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明所要解决的技术问题是，提供一种磁性镀层的制备方法，具有性能持续、稳定，相容性好等优点。

为解决上述技术问题，本发明采取的技术方案是，提供一种磁性镀层的制备方法，镀液由以下质量浓度的组份构成：六水氯化钴 48-64g/L，氯化镍 214-280g/L，硼酸 30-60g/L，直径60纳米BaFe₁₂O₁₉ 5-40g/L,超声搅拌30min，复合电沉积试验参数:电流密度0.5-6A/dm²，pH值3.4,温度20-60℃,120-480 min。

本发明优化的技术方案是，一种磁性镀层的制备方法，镀液由以下质量浓度的组份构成：六水氯化钴 48g/L，氯化镍 214g/L，硼酸 30g/L，直径60纳米BaFe₁₂O₁₉ 5g/L,超声搅拌30min，复合电沉积试验参数:电流密度0.5A/dm²，pH值3.4,温度20℃,120min。

本发明优化的技术方案是，一种磁性镀层的制备方法，镀液由以下质量浓度的组份构成：六水氯化钴 64g/L，氯化镍 280g/L，硼酸 60g/L，直径60纳米BaFe₁₂O₁₉ 40g/L,超声搅拌30min，复合电沉积试验参数:电流密度6A/dm²，pH值3.4,温度60℃,480 min。

本发明优化的技术方案是，一种磁性镀层的制备方法，镀液由以下质量浓度的组份构成：六水氯化钴 52g/L，氯化镍 248g/L，硼酸 45g/L，直径60纳米BaFe₁₂O₁₉ 22g/L,超声搅拌30min，复合电沉积试验参数:电流密度2A/dm²，pH值3.4,温度40℃,300 min。

本发明的有益效果是，本发明的一种磁性镀层的制备方法，具有性能持续、稳定，相容性好等优点。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本发明。应理解，这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。此外应理解，在阅读了本发明的内容之后，本领域技术人员可以对本发明作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所限定的范围。

实施例1，

一种磁性镀层的制备方法，镀液由以下质量浓度的组份构成：