[发明专利]一种具有疏水性能的透明隔热薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201611143540.0 | 申请日： | 2016-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN106702322B | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 邓宏;程慧;王艳;汪逸俊;韦敏 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 李明光 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镓掺杂氧化锌 薄膜 透明隔热薄膜 晶格失配 疏水性能 透明窗户 氧化锌 衬底 制备 薄膜技术领域 环境耐久性 缓冲层材料 氧化锌薄膜 薄膜表面 薄膜制备 表面性能 电学性能 隔热节能 红外性能 生长过程 柱状结构 粗糙度 纳米孔 疏水性 张应力 减小 可用 疏水 覆盖 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有疏水性能的透明隔热薄膜，该薄膜制备于衬底上，其特征在于，由下至上依次为氧化锌薄膜、镓掺杂氧化锌薄膜；所述氧化锌薄膜的厚度为20～120nm；所述镓掺杂氧化锌薄膜厚度为1～2μm；所述镓掺杂氧化锌薄膜表面具有纳米孔的柱状结构。
2.如权利要求1所述具有疏水性能的透明隔热薄膜，其特征在于，所述氧化锌薄膜的厚度为20nm。
3.如权利要求1所述具有疏水性能的透明隔热薄膜的制备方法，包含以下步骤：
1)利用射频磁控溅射法在衬底上溅射一层厚度为20～120nm的氧化锌薄膜，溅射时通入氩气和氧气，通入氩气流量与氧气流量比为2～5:1～3，溅射时衬底温度为300～450℃；
2)利用射频磁控溅射法在氧化锌薄膜上制备一层厚度为1～2μm的镓掺杂氧化锌薄膜，溅射时衬底温度为25～300℃。
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