[发明专利]一种光刻胶防止更换出错并安全运输保护瓶

说明书

本发明公开了一种光刻胶防止更换出错并安全运输保护瓶，包括玻璃瓶，所述玻璃瓶外设置有防护瓶，所述防护瓶包括由上至下依次连接的顶盖、上盖和底瓶，所述上盖的顶部端口固定设置有防换错安全环，所述防换错安全环内圆设置有止脱齿，所述防换错安全环外圆设置有定位半环，所述防换错安全环上表面沿圆周均匀设置有密匙码。本发明在保留传统光刻胶棕色玻璃瓶优点及同时，可以满足安全运输的要求，即使运输过程中发生玻璃瓶破损事故，也不会造成大范围的环境污染，还可以很好地防止操作人员由于操作不慎造成重大质量事故，适用于化学品的更换使用。

技术领域

本发明涉及一种包装瓶，更具体的说，是涉及一种光刻胶防止更换出错并安全运输保护瓶。

背景技术

在大规模集成电路晶圆制造工艺流程中，光刻工艺居于整个制造的中心地位。尤其目前进入亚微米，纳米工艺范畴内，光刻工艺更是推动者整个行业沿着摩尔定律向前发展。在光刻工艺内，光刻胶的使用是非常重要的一环。在大型晶圆厂内，有几十种不同应用的光刻胶在生产线上同时使用，每瓶光刻胶的容量只有1加仑(3.75升)，所以用完后需要经常更换。而不同应用的光刻胶严禁相互污染，混用，否则会造成重大质量安全生产事故影响晶圆的良率。由于光刻胶包装容器通常为容量为1加仑的棕色玻璃瓶，外观极为相似，稍有疏忽不慎便出现换错，造成不可挽回的重大损失。

现有的光刻胶包装通常为:1加仑(3.75升)装的棕色透明玻璃瓶和4升装的Nowpack塑胶瓶(美商英特格公司产品)。主流包装为1加仑(3.75升)装的棕色透明玻璃瓶，玻璃瓶运输时已碎的弱点以及没有有效的防止换错装置一直是该包装被诟病之处。少量厂家使用Nowpack塑胶瓶，由于Nowpack塑胶瓶的内胆含有欧盟环境指令PFOS/PFOA明令禁止的成分，虽然经欧盟环境指令PFOS/PFOA要求升级，之后发生潜在质量风险，会造成客户端的损失，尤其是对于高端光阻风险更甚。已经被主流厂商弃用。

发明内容

本发明的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种光刻胶防止更换出错并安全运输保护瓶，在保留传统光刻胶棕色玻璃瓶优点及同时，可以满足安全运输的要求，即使运输过程中发生玻璃瓶破损事故，也不会造成大范围的环境污染，还可以很好地防止操作人员由于操作不慎造成重大质量事故。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的。

本发明的一种光刻胶防止更换出错并安全运输保护瓶，包括玻璃瓶，所述玻璃瓶外设置有防护瓶，所述防护瓶包括由上至下依次连接的顶盖、上盖和底瓶，所述上盖的顶部端口固定设置有防换错安全环，所述防换错安全环内圆设置有止脱齿，所述防换错安全环外圆设置有定位半环，所述防换错安全环上表面沿圆周均匀设置有密匙码。

所述上盖设置有提手。

所述上盖和底瓶通过锁紧箍进行连接。

所述顶盖沿圆周设置有易拉带。

所述底瓶和上盖采用全透明耐冲击聚碳酸酯或非结晶型共聚聚酯，所述顶盖采用聚乙烯塑胶。

所述密匙码由数字或字母构成，每一种光刻胶对应一组密匙，每组密匙由三位或三位以上的密匙码构成，在每组密匙对应的密匙码处分别开设通孔。

与现有技术相比，本发明的技术方案所带来的有益效果是：

(1)本发明中，玻璃瓶外设置了防护瓶，把玻璃瓶完全包覆于内，整体密闭防止漏液，可以满足安全运输的要求，即使运输过程中发生玻璃瓶破损事故，不会造成大范围的环境污染，防止光刻胶在晶圆厂内运输使用过程中玻璃瓶破损造成Fab洁净环境污染破坏；

(2)本发明中，上盖顶部端口设置了防换错安全环，每一种光刻胶分配不同且唯一的密匙，可以防止保证光刻胶不混用，不同种类的光刻胶由于密匙不匹配，不能安装成功，只有同一种光刻胶才能符合密匙成功连接，防止晶圆厂内更换光刻胶时操作员误操作致光刻胶混用，避免工厂端的重大损失；