[发明专利]用于沉积流体的液滴的液滴沉积设备和方法

权利要求书

1.一种液滴喷射设备，包括：

长形的流体室的阵列，每一个长形的流体室与用于液滴喷射的孔口连通，所述阵列在阵列方向延伸，每一个孔口具有入口和出口；

共同的流体入口歧管；

共同的流体出口歧管；以及

用于产生从所述共同的流体入口歧管穿过所述阵列中的每一个长形的流体室并且进入所述共同的流体出口歧管的流体的通流(Q_TF)的装置；

其中所述长形的流体室中的每一个在一个纵向端部与所述共同的流体入口歧管连通并且在相对的纵向端部与所述共同的流体出口歧管连通；

其中每一个长形的流体室与至少一个压电致动器相关联以用于产生自所述孔口的液滴喷射，导致自所述长形的流体室并从所述孔口离开的流体的喷射流动，所述喷射流动与所述通流同时发生，所述喷射流动具有最大值Q_E；

其中所述孔口设置在具有t微米厚度的孔口板中，每一个孔口成锥形从而界定锥度角θ，其中所述出口的面积小于所述入口的面积；以及

其中所述长形的流体室中的每一个在所述阵列方向具有w微米的宽度，从而界定实际圆形面积A_P＝1/4π(w-e-2t·tanθ)²，其中e采取在5和10微米之间的值，用于每一个室的所述孔口的所述出口具有面积A_n，其中3A_P>A_n>1.25A_P。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述压电致动器中的每一个压电致动器的致动在相应的长形的流体室的纵向端部中的每一个处产生声波，所述声波然后朝向所述孔口行进。

3.根据权利要求1所述的设备，其中，对于所述孔口中的每一个孔口，所述出口的长径比小于所述入口的长径比。

4.根据权利要求3所述的设备，其中，所述孔口中的每一个孔口的所述出口是近似地圆形。

5.根据权利要求1、2、3或4中任一项所述的设备，其中，Q_TF的值足以确保返回至所述共同的流体出口歧管的流体的温度大体上保持在从所述共同的流体入口歧管进入所述长形的流体室的流体的2℃内。

6.根据权利要求1、2、3或4中任一项所述的设备，其中所述通流的量使得Q_TF>0.25Q_E。

7.根据权利要求6所述的设备，其中所述通流的量使得Q_TF>Q_E。

8.根据权利要求1、2、3或4中任一项所述的设备，其中，所述长形的流体室中的每一个在两个长形的室壁之间界定。

9.根据权利要求8所述的设备，其中，所述室壁包含压电材料，所述压电致动器中的每一个包括所述室壁中的相应的一个。

10.根据权利要求8所述的设备，其中，所述室壁的顶部边缘共同提供大体上平面的表面，所述孔口板附接至所述表面。

11.根据权利要求8所述的设备，其中，所述压电致动器中的每一个沿着相应的长形的流体室的长度延伸。

12.根据权利要求10所述的设备，其中，所述压电致动器中的每一个大体上从所述长形的流体室的第一端部延伸至所述长形的流体室的第二端部。

13.根据权利要求10-12中任一项所述的设备，其中，所述室壁包含压电材料，所述压电致动器中的每一个包括所述室壁中的相应的一个。

14.根据权利要求1、2、3、4、9、10、11或12中任一项所述的设备，其中，所述长形的流体室的纵向轴线平行于通道延伸方向。