[发明专利]一种利用硅粉进行熔炼生产硅锭的工艺有效

专利信息
申请号: 201611131075.9 申请日: 2016-12-09
公开(公告)号: CN107055545B 公开(公告)日: 2019-01-25
发明(设计)人: 羊实;周旭 申请(专利权)人: 成都斯力康科技股份有限公司
主分类号: C01B33/037 分类号: C01B33/037
代理公司: 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 代理人: 王记明
地址: 610000 四川省成都市天府*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 硅液 熔炼 硅锭 硅粉 熔炼生产 中频炉 纯净度 导电性 成型系统 感应生热 生产效率 一次熔炼 最大容量 坩埚熔炼 感应炉 硅熔炼 内容量 硅块 硅水 起炉 坩埚 制备 成型 预留 倾倒 达标 制造
【权利要求书】:

1.一种利用硅粉进行熔炼生产硅锭的工艺,其特征在于包括以下步骤:

(a)起炉:在中频炉中制备得到纯净度达标硅液;所述中频炉的工作频率为100~140HZ;

(b)炼硅:将硅粉投入到硅液中进行熔炼,制得硅液;

(c)成型:预留中频炉内容量15%~20%容量的硅液作为下一次熔炼的初始硅水,将其余的硅液倾倒成型系统,制造形成硅锭。

2.根据权利要求1所述的一种利用硅粉进行熔炼生产硅锭的工艺,其特征在于:所述的步骤(a)起炉中,采用铁块起炉方法、铝块起炉方法、石墨起炉方法、电子束枪起炉方法中的任意一种。

3.根据权利要求2所述的一种利用硅粉进行熔炼生产硅锭的工艺,其特征在于:所述的铁块起炉方法包括以下步骤:

(a11)将硅块或硅粉放入到感应炉,同时向感应炉中添加铁块;

(a12)启动感应炉,并升温至1480~1520℃;

(a13)硅块或硅粉熔化成硅液,取出铁块。

4.根据权利要求2所述的一种利用硅粉进行熔炼生产硅锭的工艺,其特征在于:所述的铝块起炉方法包括以下步骤:

(a21)将硅块或硅粉放入到感应炉,同时向感应炉中添加铝锭;

(a22)启动感应炉,并升温至700~800℃,铝锭熔化形成铝水;

(a23)继续升温至1700~1800℃,硅块或硅粉熔化成硅液;

(a24)通过向步骤(a23)制得的混合液体中逐渐添加硅块或者硅粉,提高硅铝混合液体中硅的含量,当感应炉中的混合溶液满量时,倾倒85%~90%的混合液体,再逐渐添加硅块或者硅粉;

(a25)重复步骤(a24),使得混合溶液中的硅含量达到标准时,完成起炉。

5.根据权利要求2所述的一种利用硅粉进行熔炼生产硅锭的工艺,其特征在于:所述的石墨起炉方法包括以下步骤:

(a31)将硅块或硅粉放入到感应炉,同时向感应炉中添加石墨块;

(a32)启动感应炉,并升温至1800~1900℃;

(a33)硅块或硅粉熔化成硅液,取出石墨块。

6.根据权利要求2所述的一种利用硅粉进行熔炼生产硅锭的工艺,其特征在于:所述的电子束枪起炉方法包括以下步骤:

(a41)将硅粉或硅块装入到感应炉的内部;

(a42)启动电子束枪,利用电子束枪对硅粉或硅块进行加热,制得硅液;

(a43)在进行步骤(a42)的同时,启动感应炉进行加热;

(a44)在硅粉或硅块全部转化成硅液后,停止电子束枪加热,完成起炉。

7.根据权利要求1至6中任意一项所述的一种利用硅粉进行熔炼生产硅锭的工艺,其特征在于:在进行步骤(b)炼硅的过程中,还对硅液进行搅拌操作,操作过程是:利用木棒对硅液进行顺时针或逆时针的单向搅动,每分钟搅动2~3圈。

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