[发明专利]一种碳化硅单晶生长热场结构中的石墨板涂层的制备方法有效
| 申请号： | 201611125961.0 | 申请日： | 2016-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN106544724B | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 高宇;杨继胜;杨昆;郑清超 | 申请（专利权）人： | 河北同光晶体有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36;C01B32/194;C23C16/14 |
| 代理公司： | 北京连城创新知识产权代理有限公司 11254 | 代理人： | 郝学江 |
| 地址： | 071051 河北省保定市北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 生长 结构 中的 石墨 涂层 制备 方法 | ||
【说明书】：
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