[发明专利]钒氧化物薄膜制备方法在审
| 申请号： | 201611120974.9 | 申请日： | 2016-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN106521416A | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 郝青 | 申请（专利权）人： | 陕西玉航电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 西安亿诺专利代理有限公司61220 | 代理人： | 贾苗苗 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市高新*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化物 薄膜 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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