[发明专利]一种离子推力器栅极零件去毛刺方法

权利要求书

1.一种离子推力器栅极零件去毛刺方法，其特征在于：采用负偏压将推力器放电室等离子体中的离子引致待处理栅极表面引起尖端放电的方法去除栅极加工过程中遗留的毛刺及表面污染物。

2.根据权利要求1所述的一种离子推力器栅极零件去毛刺方法，其特征在于：采用待处理栅极零件装配到无栅极组件的离子推力器样机上，并将待处理栅极组件的电位相对于离子推力器放电室置为负电位，用于吸引离子，并将离子推力器样机相对舱体置为正点位，用于将栅极引出的离子快速引至舱体中和。

3.根据权利要求1或2所述的一种离子推力器栅极零件去毛刺方法，其特征在于：所述栅极组件的电位相对于离子推力器放电室置的负偏置电位为20-30V。

4.根据权利要求3所述的一种离子推力器栅极零件去毛刺方法，其特征在于：所述离子推力器样机相对舱体置为15-25V的正电位。

5.根据权利要求1或4所述的一种离子推力器栅极零件去毛刺方法，其特征在于：该方法由离子推力器样机、推力器测试真空系统、推力器供配电电源和供气系统实现，离子推力器样机为待处理栅极提供引起尖端放电的电荷；推力器测试系统、供配电电源和供气系统为推力器工作产生等离子体提供条件；待处理栅极零件装配到无栅极组件的推力器样机上，并将待处理栅极零件的电位相对于离子推力器样机放电室置为负偏置电位，用于吸引离子，使离子在待处理栅极表面积累，实现尖端放电，该负偏置电位由推力器供配电电源中的栅极偏置电源提供，推力器供配电电源中的阴极加热电源用于加热阴极发射电子，为离子推力器样机放电室放电提供原初电子；推力器供配电电源中的阴极触持电源为阴极自持放电提供能量；推力器供配电电源中的阳极电源为离子推力器样机放电室工作产生等离子体提供放电电源；推力器供配电电源中的栅极偏置电源将离子推力器样机相对舱体为正电位，用于将栅极引出的离子快速引至舱体并中和，推力器测试真空系统为离子推力器样机放电工作提供真空条件。