[发明专利]一种测量离子推力器内部沉积溅射的方法有效
| 申请号： | 201611117629.X | 申请日： | 2016-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN106768033B | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 王蒙;顾左;郭宁;梁凯;刘兴旺;汪忠 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 甘肃省知识产权事务中心 62100 | 代理人： | 马英 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测量 离子 推力 内部 沉积 溅射 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种测量离子推力器内部沉积溅射的方法，其特征在于包括下列步骤：
（1）将离子推力器安装在真空罐体内，连接好电路和气路管路，将用覆盖物遮蔽半边的盖片安装在离子推力器内部的指定位置且该盖片的被测试面要外露在试验环境中；
（2）离子推力器在固定稳态工作点状态下累积引束流工作至少100h，使盖片上留有累积的沉积物；
（3）离子推力器停止点火开启真空罐体，将盖片取下，剥离覆盖的保护装置，盖片上一半为沉积区域，一半为无沉积的洁净区域；
（4）利用台阶仪或三维轮廓仪，量取盖片两边的厚度差；根据推力器点火时间计算出单位时间的真空罐体的溅射速率和溅射物质的分布区域，利用能谱分析仪进行成分检测,以确定溅射物质的来源；步骤（1）中所述盖片采用易吸附溅射沉积的无机非金属材料。
2.根据权利要求1所述的一种测量离子推力器内部沉积溅射的方法，其特征在于：所述盖片的表面光洁度为微米量级。
3.根据权利要求1所述的一种测量离子推力器内部沉积溅射的方法，其特征在于：步骤（4）中所述台阶仪或三维轮廓仪为纳米级精度。
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