[发明专利]一种无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿材料及其薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1.将BiI₃、碘乙胺、RbI按化学计量比1:1.8~2.2:0.8~1.2配比混 合研磨15分钟，得到无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿材料；

S2.将步骤S1得到的钙钛矿材料放入模具中在5~150MPa压力下压制成钙钛矿靶材；

S3.将步骤S2得到的钙钛矿靶材放入真空磁控溅射台进行磁控溅射，薄膜厚度达到50~1500nm后放气，得到无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿薄膜。

2.根据权利要求1所述的无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿薄膜的制备方法，其特征在于，步骤S1中，在BiI₃、碘乙胺、RbI研磨前加入DMF或异丙醇，研磨后进行烘干，得到无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿材料。

3.根据权利要求1所述的无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿薄膜的制备方法，其特征在于，步骤S1中，BiI₃、碘乙胺、RbI混合研磨后，加热到100~300℃，冷却取出，得到无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿材料。

4.根据权利要求1所述的无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿薄膜的制备方法，其特征在于，步骤S1中，BiI₃、碘乙胺、RbI混合研磨后，在氩气保护 下加热到100~600℃，冷却取出，得到无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿材料。

5.根据权利要求1~4任一项所述的无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿薄膜的制备方法，其特征在于，步骤S1中，BiI₃、碘乙胺、RbI按化学计量比1:2:1配比。

6.根据权利要求1所述的无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿薄膜的制备方法，其特征在于，步骤S2中，钙钛矿材料压制后进行真空密封得到钙钛矿靶材。

7.根据权利要求1或6所述的无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿薄膜的制备方法，其特征在于，步骤S2中，所述钙钛矿材料在10~100MPa压力下压制。

8.根据权利要求1所述的无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿薄膜的制备方 法，其特征在于，步骤S3中进行磁控溅射前将真空磁控溅射台抽真空至10^-4~10^-6Pa充入氩 气至0.5~0.8Pa。

9.根据权利要求1或8所述的无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿薄膜的制备方法，其特征在于，步骤S3中，磁控溅射薄膜达到100~1000nm后放气取出。