[发明专利]抛光粒子-分散层复合体及包括此的抛光料浆组合物

权利要求书

1.一种抛光粒子-分散层复合体，其包括：

抛光粒子；

第一分散剂，从由聚丙烯酸、聚丙烯酸铵盐、聚甲基丙烯酸、聚甲基丙烯酸铵盐、聚丙烯马来酸、丙烯酸/苯乙烯共聚物、聚苯乙烯/丙烯酸共聚物、聚丙烯酰胺/丙烯酸共聚物、聚丙烯酸/磺酸共聚物、聚丙烯酸/丙二酸共聚物形成的群中选择的至少任何一个的阴离子性化合物；

第二分散剂，从由谷氨酸、丙氨酸、甘氨酸、胱氨酸、组氨酸、天冬酰胺、吡啶羧酸及其盐形成的群中选择的至少任何一个的阳离子性化合物；及

第三分散剂，在分子式内包括两个以上的被离子化为阳离子的氮原子的阳离子性聚合物，

其中，所述抛光粒子的表面、所述第二分散剂及所述第三分散剂显示阳电荷，所述第一分散剂显示阴电荷，

所述抛光粒子由液态法制造，且被分散使得所述抛光粒子的表面具有阳电荷，

其中，所述抛光粒子和所述第一分散剂的结合，及所述第一分散剂和所述第二分散剂及所述第三分散剂中至少任何一个的结合是静电结合，

并且其中，所述抛光粒子是胶体状态的二氧化铈。

2.根据权利要求1所述的抛光粒子-分散层复合体，其特征为，在所述抛光粒子-分散层复合体内，包括0.01重量百分比至5重量百分比的所述第一分散剂，且

在所述抛光粒子-分散层复合体内，包括0.1重量百分比至10重量百分比的所述第二分散剂，且

在所述抛光粒子-分散层复合体内，包括0.01重量百分比至5重量百分比的所述第三分散剂。

3.根据权利要求1所述的抛光粒子-分散层复合体，其特征为，所述抛光粒子-分散层复合体还包括非离子性化合物，从聚乙二醇、聚丙二醇、乙烯丙烯共聚物、聚烷基氧化物、聚环氧乙烷、聚氧化乙烯及聚环氧丙烷形成的群中选择的至少任何一个。

4.根据权利要求3所述的抛光粒子-分散层复合体，其特征为，在所述抛光粒子-分散层复合体内包括0.01重量百分比至10重量百分比的所述非离子性化合物。

5.根据权利要求1所述的抛光粒子-分散层复合体，其特征为，所述抛光粒子的直径是10nm至300nm。

6.一种抛光料浆组合物，其包括：

根据权利要求1至5中任何一项所述的抛光粒子-分散层复合体。

7.根据权利要求6所述的抛光料浆组合物，其特征为，所述抛光料浆组合物的pH是3至6。

8.根据权利要求6所述的抛光料浆组合物，其特征为，所述抛光料浆组合物的电动电位是10mV至60mV。

9.根据权利要求6所述的抛光料浆组合物，其特征为，利用所述抛光料浆组合物，抛光包括氧化膜和氮化膜或聚膜的基板时，对氧化膜的氮化膜或聚膜的抛光选择比是10:1至40:1。

10.根据权利要求6所述的抛光料浆组合物，其特征为，利用所述抛光料浆组合物，抛光包括氮化膜和聚膜的基板之后，凹陷发生量是以下。