[发明专利]搬送装置和校正方法有效
申请号: | 201611097180.5 | 申请日: | 2016-12-02 |
公开(公告)号: | CN106992137B | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 阪上博充;石桥诚之 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/68 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 校正 方法 | ||
1.一种搬送装置,其具有:保持搬送对象物的保持部;一个端部与所述保持部连结的直线状的第二臂;和经由关节部与该第二臂的另一个端部连结的直线状的第一臂,该搬送装置的特征在于,还包括:
转动驱动机构,使所述第一臂和所述第二臂被转动驱动,并使所述保持部在待机位置与搬送位置之间移动;
在向所述搬送位置搬送所述搬送对象物时检测所述第一臂和所述第二臂的转动角度的转动角检测机构;
在向所述搬送位置搬送所述搬送对象物时检测所述第二臂的位置的位置检测传感器;
计算部,根据由所述转动角检测机构检测的所述第一臂和所述第二臂的转动角度计算所述保持部的位置;和
控制部,将由所述计算部计算出的所述保持部的位置信息与由所述位置检测传感器检测到的第二臂的位置信息进行比较,根据两者的差对搬送所述搬送对象物时所要搬送到的搬送位置实施校正。
2.如权利要求1所述的搬送装置,其特征在于:
检测所述第二臂的位置的所述位置检测传感器包括设置于该第二臂的长度方向的中途的踢档件和对该踢档件进行检测的踢档件用传感器。
3.如权利要求2所述的搬送装置,其特征在于:
所述踢档件用传感器对所述踢档件的检测仅在转动驱动所述第二臂时的等速区域或者减速区域内实施。
4.如权利要求1所述的搬送装置,其特征在于:
检测所述第二臂的位置的所述位置检测传感器包括形成于该第二臂的长度方向的中途的缺口部和对该缺口部进行检测的传感器。
5.如权利要求1~4中任一项所述的搬送装置,其特征在于:
所述第一臂和所述第二臂分别设置有一对。
6.一种在搬送装置中对搬送对象物的搬送位置实施校正的校正方法,该搬送装置具有:保持搬送对象物的保持部;一个端部与所述保持部连结的直线状的第二臂;和经由关节部与该第二臂的另一个端部连结的直线状的第一臂,所述校正方法的特征在于,包括:
根据在向所述搬送位置搬送所述搬送对象物时所检测出的所述第一臂和所述第二臂的转动角度,来计算所述保持部的位置的步骤;
利用检测所述第二臂的位置的位置检测传感器,在向所述搬送位置搬送所述搬送对象物时对该第二臂的位置信息进行检测的步骤;和
将根据所述第一臂和所述第二臂的转动角度计算出的所述保持部的位置信息与由所述位置检测传感器检测到的第二臂的位置信息进行比较,基于两者的差对搬送所述搬送对象物时所要搬送到的搬送位置实施校正的步骤。
7.如权利要求6所述的校正方法,其特征在于:
检测所述第二臂的位置的所述位置检测传感器包括设置于该第二臂的长度方向的中途的踢档件和对该踢档件进行检测的踢档件用传感器。
8.如权利要求7所述的校正方法,其特征在于:
所述踢档件用传感器对所述踢档件的检测仅在转动驱动所述第二臂时的减速区域内实施。
9.如权利要求6所述的校正方法,其特征在于:
检测所述第二臂的位置的所述位置检测传感器包括形成于该第二臂的长度方向的中途的缺口部和对该缺口部进行检测的传感器。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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