[发明专利]一种氢化物气相外延反应室旋转流动装置

权利要求书

1.一种氢化物气相外延反应室旋转流动装置，包括反应室，该反应室上设有进气机构和排气口，反应室内设有石墨舟，其特征在于，所述反应室内壁上设有旋转涡流产生装置，该旋转涡流产生装置位于石墨舟边缘与反应室内侧壁之间，该旋转涡流产生装置将从进气机构中进入到反应室内的气体引导至石墨舟并产生涡流流动。

2.根据权利要求1所述的氢化物气相外延反应室旋转流动装置，其特征在于，所述旋转涡流产生装置为喷管射流混合装置，该喷管射流混合装置包括至少两个对称设置在反应室内侧壁的喷管，喷管上设置至少一个吸入口，喷管的进气口与进气机构连接。

3.根据权利要求2所述的氢化物气相外延反应室旋转流动装置，其特征在于，所述喷管内部设有至少一个内喷口，并且吸入口设在内喷口和喷管的出气喷口之间的位置上。

4.根据权利要求3所述的氢化物气相外延反应室旋转流动装置，其特征在于，所述喷管的出气喷口朝向反应室内侧壁圆周切线方向。

5.根据权利要求3所述的氢化物气相外延反应室旋转流动装置，其特征在于，所述喷管的出气喷口朝向反应室内部中心区域。

6.根据权利要求3所述的氢化物气相外延反应室旋转流动装置，其特征在于，所述喷管的出气喷口以与反应室内侧壁圆周切线方向成预设角度朝向石墨舟上表面。

7.根据权利要求2-6中任一项所述的氢化物气相外延反应室旋转流动装置，其特征在于，所述喷管为直管、渐缩管或者缩放管。

8.根据权利要求1所述的氢化物气相外延反应室旋转流动装置，其特征在于，所述旋转涡流产生装置包括至少两个对称设置的倾斜状的叶栅或者导流叶片。

9.根据权利要求7所述的氢化物气相外延反应室旋转流动装置，其特征在于，所述石墨舟通过转动轴活动安装在反应室内，或者该石墨舟通过固定轴固定安装在反应室内。

10.根据权利要求9所述的氢化物气相外延反应室旋转流动装置，其特征在于，所述进气机构包括进气管和喷头，喷头安装在进气管的出气端，喷头为喷淋头结构或管柱状喷头。