[发明专利]马达用压电驱动装置及其制造方法、马达、机器人以及泵

说明书

本发明提供一种能够实现高输出的马达用压电驱动装置。该马达用压电驱动装置包括：基板，其具有长边方向以及与上述长边方向正交的短边方向；压电元件，其设置于上述基板上并具有第一电极、第二电极以及位于上述第一电极与上述第二电极之间的压电体；以及接触部，其安装于上述基板的上述长边方向的前端部，或者与上述基板的上述长边方向的前端部接触并且与被驱动体接触，上述基板的上述长边方向与在上述基板的面内杨氏模量最小的方向大体一致。

技术领域

本发明涉及马达用压电驱动装置及其制造方法、马达、机器人以及泵。

背景技术

利用压电元件使振动体振动从而驱动被驱动体的压电致动器(马达用压电驱动装置)由于不需要磁铁、线圈而被利用于各种领域(例如参照专利文献1)。在这样的压电驱动装置中，通常利用具备块状的压电体的压电元件(块压电元件)(例如参照专利文献2)。

另一方面，作为压电元件，已知有具备薄膜状的压电体的元件(薄膜压电元件)。薄膜压电元件主要利用于在喷墨打印机的头部进行墨的射出。

专利文献1：日本特开2004－320979号公报

专利文献2：日本特开2008－227123号公报

若将上述那样的薄膜压电元件用于压电驱动装置，则能够使压电驱动装置或由其驱动的设备小型化。然而，在使用了这样的薄膜压电元件的压电驱动装置中，存在由于是小型而输出不足的情况。

发明内容

本发明的几个方式所涉及的一个目的在于提供一种能够实现高输出的马达用压电驱动装置。另外，本发明的几个方式所涉及的一个目的在于提供一种能够实现高输出的马达用压电驱动装置的制造方法。并且，本发明的几个方式所涉及的一个目的在于提供一种包含上述的马达用压电驱动装置的马达、机器人以及泵。

本发明是为了解决上述的课题的至少一部分而完成的，能够作为以下的方式或者应用例来实现。

应用例1

本发明所涉及的马达用压电驱动装置的一方式包括：

基板，其具有长边方向以及与上述长边方向正交的短边方向；

压电元件，其设置于上述基板上并具有第一电极、第二电极以及位于上述第一电极与上述第二电极之间的压电体；以及

接触部，其安装于上述基板的上述长边方向的前端部，或者与上述基板的上述长边方向的前端部接触，并且与被驱动体接触，

上述基板的上述长边方向与在上述基板的面内杨氏模量最小的方向大体一致。

在这样的马达用压电驱动装置中，例如在电压施加于压电元件的情况下，能够增大基板的弯曲振动的位移量(振幅)，并能够实现高输出(参照后面描述的“3.实验”)。

应用例2

本发明所涉及的马达用压电驱动装置的一方式包括：

基板，其具有长边方向以及与上述长边方向正交的短边方向；

压电元件，其设置于上述基板上并具有第一电极、第二电极以及位于上述第一电极与上述第二电极之间的压电体；以及

接触部，其安装于上述基板的上述长边方向的前端部，或者与上述基板的上述长边方向的前端部接触，并且与被驱动体接触，

在将上述基板的上述短边方向的切变模量设为Gxy，将上述基板的上述长边方向的杨氏模量设为Ex，将上述基板的上述短边方向的杨氏模量设为Ey时，上述基板的上述长边方向与在上述基板的面内Ey/Ex/Gxy的值最大的方向大体一致。

在这样的马达用压电驱动装置中，例如在电压施加于压电元件的情况下，能够增大基板的弯曲振动的位移量，并能够实现高输出(参照后面描述的“3.实验”)。