[发明专利]波束形成光学系统、和直接成像系统

权利要求书

1.一种波束形成光学系统，包括：

照明单元，包括被配置为发射多个波束的多个光源，所述多个光源至少包括四个激光二极管；

光学装置，被配置为将所述多个波束全部传送到单个声光调制器AOM上；

所述单个声光调制器，被定位成接收通过所述光学装置传送的并且以位置或角度之一对准的所述多个波束的全部，并且

所述单个声光调制器包括一组信道，每个信道被配置为对入射到其上的所述多个波束的全部的一部分进行调制，并且被配置为当声波沿着所述信道在声方向中传播时相继地对所述多个波束中的与所述信道相关联的部分进行衍射，使得所有波束都曝光在曝光平面上的相同焦斑上。

2.根据权利要求1的波束形成光学系统，

其中，所述照明单元包括被安排在单行中的多个光源。

3.根据权利要求1的波束形成光学系统，

其中，所述照明单元包括被安排在第一行中的第一多个光源和被安排在第二行中的第二多个光源，该第二行与所述第一行平行。

4.根据权利要求1的波束形成光学系统，

其中，所述光学装置被配置为使从所述照明单元输出的所述多个波束准直和对准，从而所述多个波束的每个在与AOM的声方向垂直的方向上延伸。

5.根据权利要求4的波束形成光学系统，

其中，所述多个波束形成安排在所述声方向的并行波束阵列，其中，所述多个波束的每个在垂直于所述声方向的方向上成形，以填充所述AOM的孔径。

6.根据权利要求1的波束形成光学系统，

其中，所述光学装置被配置为将从所述照明单元输出的所述多个波束安排为使得它们在所述AOM的孔径的平面上彼此重叠。

7.根据权利要求6的波束形成光学系统，

其中，所述多个波束形成在包括所述AOM的声方向和与所述声方向垂直的方向的平面上安排的波束阵列，从而所述多个波束的全部在所述AOM的孔径的平面上彼此重叠，而所述多个波束的每个被成形在所述AOM的声方向和与所述AOM的声方向垂直的方向二者中，以填充所述AOM的孔径。

8.根据权利要求1的波束形成光学系统，

其中，所述AOM包括单晶体，该单晶体调制多个入射波束的全部。

9.根据权利要求1的波束形成光学系统，

其中，所述波束形成光学系统还包括扫描元件，所述扫描元件适于以扫描速度、利用所述单个声光调制器所调制的多个波束来扫描所述曝光平面，其中将该扫描速度选择为所述多个波束的不同部分不相干地联合为单一曝光焦斑。

10.一种波束形成光学系统，包括：

照明单元，包括多个光源，该多个光源被配置为发射实际上相同波长的多个波束；

光学装置，被配置为将所述多个波束全部传送到单个声光调制器AOM上；

所述单个声光调制器，被定位成接收通过所述光学装置传送的并且以位置或角度之一对准的所述多个波束的全部，并且

所述单个声光调制器包括一组信道，每个信道被配置为对入射到其上的所述多个波束的全部的一部分进行调制，并且被配置为当声波沿着所述信道在声方向中传播时相继地对所述多个波束中的与所述信道相关联的部分进行衍射，使得所有波束都曝光在曝光平面上的相同焦斑上。

11.根据权利要求10的波束形成光学系统，

其中，所述波束形成光学系统还包括扫描元件，所述扫描元件适于以扫描速度、利用所述单个声光调制器所调制的多个波束来扫描所述曝光平面，其中将该扫描速度选择为所述多个波束的不同部分不相干地联合为单一曝光焦斑。