[发明专利]一种具有再生功能的低温泵系统有效
| 申请号： | 201611089624.0 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN106704145B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 应力平;石庆球;严峻;裴雷洪 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08;F04B39/06 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陈慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 冷泵 低温泵 加热模块 再生过程 壳体 低温泵系统 控制模块 再生功能 体内 冷头 氮气 气体凝结 真空吸附 真空状态 冷凝水 热传递 吸附 植入 加热 覆盖 | ||
1.一种具有再生功能的低温泵系统，其特征在于，包括：
冷泵壳体(1)；
冷头(2)，位于所述冷泵壳体(1)内，用于在所述低温泵的真空吸附过程中吸附所述冷泵壳体(1)内的气体，所述气体凝结覆盖在冷头上；
冷泵控制模块(3)，用于控制所述低温泵的真空吸附过程和所述低温泵的再生过程；
加热模块，植入在冷泵壳体(1)内，在所述低温泵的再生过程中，所述加热模块对冷泵壳体(1)进行加热，以避免在所述低温泵的再生过程中由于通入氮气后热传递变快，从而导致冷泵壳体(1)温度低于环境温度产生冷凝水，其中，所述加热模块包括电热丝和加热电源，所述电热丝植入所述冷泵壳体(1)的材料内，且所述电热丝在冷泵壳体(1)的材料内均匀分布；在所述低温泵的再生过程中，所述电热丝对壳体进行加热，所述电热丝由所述加热电源供电。
2.根据权利要求1所述的具有再生功能的低温泵系统，其特征在于，所述加热模块还包括加热控制模块，所述加热控制模块控制冷泵壳体(1)升温后的温度保持在高于环境温度的状态，以使大气中的水汽不会凝结成水滴。
3.根据权利要求2所述的具有再生功能的低温泵系统，其特征在于，所述加热控制模块控制冷泵壳体(1)升温后的温度保持在高于在所述低温泵的真空吸附过程的温度，以加快附着在冷泵壳体(1)内壁上的凝华后的气体升华速度，从而更容易在所述低温泵的再生过程中被置换气体带走。
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