[发明专利]一种用于验证Overlay机台精度的标准片、制作方法及验证方法

权利要求书

1.一种用于验证Overlay机台精度的标准片,其特征在于:包括设置在载体上的一系列同时包含里、外层的量测标识,里层所述量测标识的中心与外层量测标识的中心对应的按照X、Y坐标上预设的一系列标准差进行叠对排列。

2.根据权利要求1所述的一种用于验证Overlay机台精度的标准片,其特征在于:所述量测标识以晶圆为载体。

3.根据权利要求2所述的一种用于验证Overlay机台精度的标准片,其特征在于:所述量测标识通过光罩曝光显影到晶圆上。

4.一种用于验证Overlay机台精度的标准片的制作方法，其特征在于：对上述权利要求1至3任一项所述的一种用于验证Overlay机台精度的标准片进行制作，包括以下步骤，

S1，设计一系列同时包含里、外层的量测标识；

S2，将里层量测标识的中心与外层量测标识的中心对应的按照X、Y坐标上预设的一系列标准差进行叠对排列；

S3，将叠对排列好的量测标识转移到载体上，形成标准片。

5.根据权利要求4所述的一种用于验证Overlay机台精度的标准片的制作方法，其特征在于：所述S3具体为：

S31，将叠对排列好的量测标识放在光罩上；

S32，在晶圆上涂设光阻并在设有量测标识的光罩下显影，形成刻蚀图案；

S33，根据刻蚀图案对晶圆进行刻蚀，形成标准片。

6.一种验证Overlay机台精度的方法，其特征在于：利用上述权利要求1至3任一项所述的一种用于验证Overlay机台精度的标准片进行验证，包括以下步骤，

步骤一，Overlay机台对标准片上里、外层的量测标识的中心进行量测，得出Overlay机台的量测值；

步骤二，将Overlay机台的量测值与标准片上里、外层的量测标识的中心之间的标准差进行对比，验证Overlay机台的精度。