[发明专利]一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法及系统有效
| 申请号： | 201611079480.0 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN106556976B | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 李碧峰 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立;李蕾 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 洗边 膜厚测量 光阻 洗边机台 光阻膜 监控光 控片 量测 预设 测量 输出 定期监控 范围建立 游标卡尺 测量光 厚量 良率 膜厚 监控 发现 | ||
【说明书】：
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