[发明专利]一种激光加工装置及方法在审
| 申请号： | 201611075252.6 | 申请日： | 2016-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108115296A | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 赵华龙;武杰杰 | 申请（专利权）人： | 深圳中科光子科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/70 | 分类号： | B23K26/70;B23K37/04;B23K26/064;B23K26/14 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华新区龙华街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光束 激光加工 吸水体 激光加工装置 液体槽 存储 待加工工件 激光束聚焦 激光束扩束 光斑 启动指令 扫描振镜 吸收液体 液体附着 液体汽化 激光器 聚焦镜 扩束器 上表面 下表面 支撑件 整形 加工 冷却 发送 汇聚 输出 | ||
1.一种激光加工装置，其特征在于，所述激光加工装置包括：支撑件、激光器、扩束器、扫描振镜、聚焦镜、液体槽及吸水体，
所述支撑件，置于所述液体槽中，用于固定待加工工件；
所述激光器，用于接收启动指令发送激光束；
所述扩束器，用于接收所述激光器发送的激光束，并将所述激光束扩束整形后，输出具有均匀能量密度的激光束至所述扫描振镜；
所述扫描振镜，用于接收所述有均匀能量密度的激光束，并调整所述有均匀能量密度的激光束的角度，将所述有均匀能量密度的激光束汇聚在所述聚焦镜上；
所述聚焦镜，用于根据工件加工的位置，将所述有均匀能量密度的激光束聚焦在所述工件上形成光斑进行加工；
所述液体槽，置于所述工件的下方，用于存储可降温的液体，当加工时升温导致存储的可降温的液体汽化时，带走所述工件的热量；
所述吸水体，置于所述工件下方的所述液体槽中，所述吸水体的上表面与所述工件的下表面接触，用于吸收液体，将液体附着于所述吸水体的表面对所述工件持续进行冷却。
2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述支撑件为至少一个圆形或方形的柱体。
3.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述扩束镜由凸透镜及凹透镜组成。
4.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述扫描振镜位于所述扩束镜与所述聚焦镜之间，所述扫描振镜包括用于将输出的激光束偏转的扫描镜以及调节激光束直径的振镜。
5.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述液体槽存储的可降温的液体，可以为水或酒精。
6.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述吸水体可以为海绵体或棉布。
7.一种激光加工方法，其特征在于，包括以下步骤：
通过置于液体槽中的支撑件固定待加工工件；
激光器接收启动指令发送激光束；
扩束器接收所述激光束，并将所述激光束扩束整形后，输出具有均匀能量密度的激光束；
扫描振镜接收所述有均匀能量密度的激光束，并调整所述有均匀能量密度的激光束的角度，将所述有均匀能量密度的激光束汇聚在聚焦镜上；
所述聚焦镜根据工件加工的位置，将所述有均匀能量密度的激光束聚焦在所述工件上形成光斑进行加工；
当加工时升温导致所述液体槽中存储的可降温的液体汽化时，带走所述工件的热量；
吸水体置于所述工件下方的所述液体槽中，所述吸水体的上表面与所述工件的下表面接触吸收液体，将液体附着于所述吸水体的表面对所述工件持续进行冷却。
8.根据权利要求7所述的激光加工方法，其特征在于，所述支撑件为至少一个圆形或方形的柱体。
9.根据权利要求7所述的激光加工方法，其特征在于，所述液体槽中存储的可降温的液体，可以为水或酒精。
10.根据权利要求7所述的激光加工方法，其特征在于，所述吸水体可以为海绵体或棉布。
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