[发明专利]物品分解方法有效
| 申请号： | 201611071447.3 | 申请日： | 2016-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN106853411B | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 秦裕一;内海省吾;松田源一郎;浪平隆男 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | B02C19/18 | 分类号： | B02C19/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李国华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物品 分解 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种物品分解方法，通过在液体中进行多次放电对基板或包含所述基板的物品进行分解，
在具有保持所述液体的容器，在所述容器内的所述液体中具有正电极和接地电极，且在所述液体中的所述正电极与所述接地电极间的放电路径或者通过放电产生的冲击波所传播的区域内设置了所述基板或者包含所述基板的所述物品的状态下，
测量在放电时流过所述放电路径的放电电流的峰值，
将所述放电电流的峰值设为Imax、将所述电极间的距离设为x、将放电电压设为E时，满足下述数式1的关系，使所述电极间的距离或所述放电电压的至少一方变化，
使得所述放电电流的峰值一定，
数式1：Imax＝(bx2+cx+d)×E，其中b、c、d是常数。
2.根据权利要求1所述的物品分解方法，在控制所述放电条件使得所述放电电流的峰值一定时，控制所述放电条件使得所述放电电流的所述峰值在10kA以上且30kA以下的范围内一定。
3.根据权利要求1或2所述的物品分解方法，在控制所述放电条件使得所述放电电流的峰值一定时，所述放电电流的波形的宽度设为1μs以上且9μs以下。
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