[发明专利]放电粉碎装置以及放电粉碎方法

权利要求书

1.一种放电粉碎装置，其使用脉冲放电，将被搭载于在上电极与下电极之间保持的处理物的被粉碎物粉碎，该放电粉碎装置具备：

容器，其保持液体；

所述上电极以及所述下电极，在所述容器内被配置在所述液体中；

脉冲电源，通过向所述上电极以及所述下电极之间施加高电压脉冲，使其产生脉冲放电；和

气泡产生装置，在所述液体中，在所述处理物的下表面侧产生气泡，其中，该处理物被保持在所述上电极与所述下电极之间以使得所述被粉碎物被配置于下表面，

在通过所述脉冲电源来向所述上电极以及所述下电极之间施加高电压脉冲时，在所述处理物的下表面侧存在气泡，通过基于所述放电而生成的气泡的崩裂消失所产生的冲击波来将所述被粉碎物粉碎。

2.根据权利要求1所述的放电粉碎装置，其中，

所述气泡产生装置是使含有气泡的液体从所述处理物的下表面侧流入的泵。

3.根据权利要求1所述的放电粉碎装置，其中，

所述放电粉碎装置还具备液体吸引装置，该液体吸引装置从所述处理物的下表面侧吸引与所述处理物碰撞的含有气泡的液体。

4.根据权利要求1所述的放电粉碎装置，其中，

所述气泡产生装置是使含有所述气泡的液体沿着所述处理物的下表面侧流入的泵。

5.根据权利要求1至4的任意一项所述的放电粉碎装置，其中，

所述放电粉碎装置还具备送液装置，该送液装置使不包含气泡的液体从所述处理物的上表面流入，使其与所述处理物碰撞。

6.根据权利要求1至4的任意一项所述的放电粉碎装置，其中，

所述液体是水。

7.根据权利要求1至4的任意一项所述的放电粉碎装置，其中，

所述处理物是电路基板。

8.一种放电粉碎装置，其使用脉冲放电，将被搭载于在上电极与下电极之间保持的处理物的被粉碎物粉碎，该放电粉碎装置具备：

容器，其保持液体；

接地电极，在所述容器内与被配置于所述液体中的所述处理物连接；

一对正电极，被对置配置为夹着所述处理物；和

放电电路，使所述一对正电极交替进行脉冲放电，

在所述一对正电极之中的一个正电极处的放电后，在所述处理物的所述一个正电极侧产生气泡从而在所述处理物的一个正电极侧存在气泡的状态下，通过所述放电电路来进行所述一对正电极之中的另一个正电极处的放电，通过基于所述一个正电极处的放电而生成的气泡的崩裂消失所产生的冲击波，将所述被粉碎物粉碎。

9.一种放电粉碎方法，其使用脉冲放电，将液体中被搭载于在上电极与下电极之间保持的处理物的被粉碎物粉碎，

在所述处理物的下表面侧存在气泡的状态下，在所述液体中向上电极与下电极之间施加高电压脉冲来产生脉冲放电，通过基于所述放电而生成的气泡的崩裂消失所产生的冲击波，将所述被粉碎物粉碎。

10.一种放电粉碎方法，其包含以下工序：在液体中向正电极以及接地电极的电极之间施加高电压脉冲来产生脉冲放电，通过在所述脉冲放电时产生的冲击波来将配置在所述冲击波所传播的范围内的处理物的被粉碎物粉碎，其中，

在使所述接地电极与所述处理物接触、且将一对所述正电极对置配置以使得夹着所述处理物的状态下，施加所述高电压脉冲时，

通过所述一对正电极之中的一个正电极的放电来产生气泡，通过基于所述一个正电极的放电而生成的气泡的崩裂消失所产生的冲击波，将配置于所述处理物的一个正电极侧的被粉碎物粉碎，

并且通过所述一对正电极之中的另一个正电极的放电来产生气泡，通过基于所述一个正电极的放电而生成的气泡的崩裂消失所产生的冲击波，将配置于所述处理物的另一个正电极侧的被粉碎物粉碎。