[发明专利]一种基于主动聚焦的实时聚焦方法及装置

权利要求书

1.一种基于主动聚焦的实时聚焦方法，其特征在于，具体按照以下步骤实施：

步骤1，扫描步进曝光机按照条带进行曝光，条带是一个长方形曝光区域，一次扫描曝光一个条带，一个条带接着一个条带的顺序曝光，所有条带构成整个曝光区域；

步骤2，曝光首条带前测距仪通过主动聚焦的方式扫描该条带，在曝光中由于基板出现的凹凸不平的情况，因此记录该条带的坐标为(X₀，Y₀)……(X_n、Y_n)，然后得到不同坐标位置所对应的Z轴高度值F；

步骤3，曝光首条带时通过三轴定位平台Stage当前的坐标位置(X₀，Y₀)，以及步骤2中测量的该坐标位置所对应的Z轴高度值F，得到三轴定位平台Stage在曝光位置的焦面值F₀，移动三轴定位平台Stage的Z轴到F₀位置，即实现此位置的聚焦；

所述步骤2中的主动聚焦按照以下步骤实施：

步骤2.1，设置三轴定位平台Stage中的X轴扫描方式为up-to-down，根据基板的厚度，计算Z轴至曝光镜头的理论高度值f；

步骤2.2，移动平台至曝光首条带位置，启动测距仪的测量功能，测量即将在扫描过程中的Z轴变化值Fn；

步骤2.3，X方向为步进，Y方向扫描，根据步骤2.1中的理论高度值f确定Z轴移动总步长Step，记录存储在Fn中；

步骤2.4，在曝光时根据步骤2.3中的Fn，由镜头结构的Z轴电机进行一次实时聚焦；

步骤2.5，继续曝光后面的条带，再通过测距仪测量不同Step已存储的数据Fn，再次进行运用；

步骤2.6，重复步骤2.2-2.5，即实现整个曝光过程中的主动聚焦。

2.根据权利要求1所述的一种基于主动聚焦的实时聚焦方法，其特征在于，所述步骤2.4曝光过程中基平面的Z轴相对保持不变，在对镜头结构进行调整，使镜头与基平面保持一个D₀的距离，所述D₀为理论Z轴至曝光镜头的理论高度值f之间的距离。

3.根据权利要求2所述的一种基于主动聚焦的实时聚焦方法，其特征在于，所述步骤2在曝光准备阶段并行执行。

4.根据权利要求3所述的一种基于主动聚焦的实时聚焦方法，其特征在于，所述步骤3中在曝光首条带时测距仪继续扫描下一条带，并得到该条带不同坐标位置所对应的Z轴高度值F，以便反复循环曝光使用。