[发明专利]一种LTCC滤波器多喷头打印集成制造方法有效
| 申请号: | 201611065431.1 | 申请日: | 2016-11-28 |
| 公开(公告)号: | CN106747476B | 公开(公告)日: | 2019-11-26 |
| 发明(设计)人: | 伍权;杨晓宏;陈尔鹏;邱云峰 | 申请(专利权)人: | 贵州航天计量测试技术研究所 |
| 主分类号: | H01P1/20 | 分类号: | H01P1/20;C04B35/64;B33Y10/00;B33Y50/00;B33Y70/00;B33Y80/00 |
| 代理公司: | 52100 贵阳中新专利商标事务所 | 代理人: | 商小川<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址: | 550009 *** | 国省代码: | 贵州;52 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 滤波器 多层 喷印 滤波器集成 滤波器模型 集成制造 介电常数 快速制造 嵌入集成 柔性制造 烧结 工艺流程 低成本 低损耗 多喷头 打印 制作 制造 | ||
1.一种LTCC滤波器多喷头打印集成制造方法,其特征在于:包括以下步骤:
步骤1、在3D打印机中建立LTCC滤波器CAD模型;
步骤2、配制陶瓷基板材料和线路打印材料放入3D打印机对应料筒中;
步骤3、多层LTCC滤波器打印,先用装陶瓷材料的喷头打印一层所需厚度的基板在接收平台上,然后用装线路打印材料的喷头在之前打印的基板上打印所需的线路网络;
步骤4、重复步骤3循环打印一层基板和一层线路直至多层LTCC滤波器结构打印完成;
步骤5、将步骤4中的多层LTCC滤波器烧结;
步骤5中多层LTCC滤波器烧结采用多级温度,第一阶段从室温升温至400℃,功率500W,第二阶段400℃保温60分钟,然后第三阶段400℃升温至850℃,功率为2000W,第四阶段850℃保温120分钟,随炉冷却。
2.根据权利要求1所述的一种LTCC滤波器多喷头打印集成制造方法,其特征在于:步骤3中陶瓷基板材料通过挤出成型工艺打印,通过气压将材料通过微小针头挤出,控制打印高度和喷头移动速度,根据CAD模型计算的路线将挤出的材料沉积到所需位置形成基板结构。
3.根据权利要求1所述的一种LTCC滤波器多喷头打印集成制造方法,其特征在于:步骤3中线路打印材料通过微滴喷射方式打印,采用压电陶瓷喷头连续喷射微小液滴,控制喷射频率、喷头移动速度和打印高度,按照设计的路线喷射形成导电线路网络。
4.根据权利要求1所述的一种LTCC滤波器多喷头打印集成制造方法,其特征在于:步骤3中所述陶瓷基板中的通孔制作通过控制打印路径实现。
5.根据权利要求1所述的一种LTCC滤波器多喷头打印集成制造方法,其特征在于:步骤3中所述陶瓷基板的通孔中的导电材料填充通过微滴喷射实现。
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