[发明专利]用于制备激光烧蚀微推力器圆盘状工质的涂膜装置

权利要求书

1.一种用于制备激光烧蚀微推力器圆盘状工质膜片的涂膜装置，其特征在于，包括涂膜平台和旋转机构，其中涂膜平台包括盖板、平台；旋转机构包括支架、弹簧、螺杆、底座；

盖板作为活动部件可自由拆卸，使用时通过螺丝固定于平台上，与平台的上表面紧密贴合；支架安装在螺杆上，通过旋转螺杆可使支架上下移动，使用时将待加工的圆盘状工质基底放置于支架上，通过旋转螺杆调整基底位置，直到基底上表面与盖板接触，保证了基底上表面和平台表面处于同一平面内；基底位置调整好后即可将盖板卸下，使用不同厚度刮涂刀在平台和基底材料表面上进行工质膜制备；在螺杆上装配有弹簧，弹簧张力作用在支架和平台上，确保在涂膜过程中旋转机构和涂膜平台接触紧密无法相对运动，保证了制备精度；螺杆下端安装有底座，底座可与恒温加热器或其它调节机构连接；整个装置采用热导率高的金属铜作为材质，确保装置配合恒温加热器使用时具有良好的导热性能。