[发明专利]提供检查与量测的自动对焦装置及其方法在审
| 申请号： | 201611054218.0 | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN106483622A | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 赖宏能 | 申请（专利权）人： | 苏州均华精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/09 | 分类号： | G02B7/09;G01B11/06;G01S17/08 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 马明渡,徐丹 |
| 地址： | 215101 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 搜索关键词： | 提供 检查 自动 对焦 装置 及其 方法 | ||
【权利要求书】：
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